Electrical, optical and photoelectronic properties and applications of semiconductors and insulators, plasma processing for fabrication and etching of thin films

半导体和绝缘体的电学、光学和光电特性及应用,薄膜制造和蚀刻的等离子处理

基本信息

  • 批准号:
    3339-1992
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.23万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    加拿大
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
  • 财政年份:
    1993
  • 资助国家:
    加拿大
  • 起止时间:
    1993-01-01 至 1994-12-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

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    Discovery Grants Program - Individual
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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
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