Development of thin film preparation process by back-surface irradiation PLD method using powder targets
使用粉末靶材的背面照射PLD法薄膜制备工艺的开发
基本信息
- 批准号：26390099
- 负责人：
- 金额：$ 3.24万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Sputtering deposition of AZO thin films using mixed powder targets
使用混合粉末靶材溅射沉积 AZO 薄膜
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Ohshima; T. Maeda; Y. Tanaka; H. Kawasaki; Y. Yagyu; T. Ihara; Y. Suda
- 通讯作者：Y. Suda
Preparation of Functional Thin Films by Pulsed Laser Deposition Method Using a Metal Powder Target
金属粉末靶材脉冲激光沉积法制备功能薄膜
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hiroharu Kawasaki; Tamiko Ohshima; Takeshi Ihara; Yoshihito Yagyu; Yoshiaki Suda
- 通讯作者：Yoshiaki Suda
Thin Film Deposition by Plasma Process with Powder Target
使用粉末靶材进行等离子工艺薄膜沉积
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Ohshima; H. Kawasaki; T. Maeda; Y. Tanaka; Y. Yagyu; T. Ihara;Y. Suda
- 通讯作者：Y. Suda
Bacteria Sterilization by Pulsed laser ablation using several kind of Metals and Metal Oxide targets
使用多种金属和金属氧化物靶材进行脉冲激光烧蚀灭菌
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hiroharu Kawasaki; Tamiko Ohshima; Yoshihito Yagyu; Takeshi Ihara; Yoshiaki Suda; Bacteria Sterilization by Pulsed laser ablation using several kind of Metals;Metal Oxide targets
- 通讯作者：Metal Oxide targets
Preparation of functional thin films by backside irradiation pulsed laser deposition using powder targets
使用粉末靶材背面照射脉冲激光沉积制备功能薄膜
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yoshiaki Suda; Hiroharu Kawasaki; Tamiko Ohshima; Takeshi Ihara;Yoshihito Yagyu
- 通讯作者：Yoshihito Yagyu
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- 影响因子：1.5
- 作者：
Kawasaki Hiroharu;Nishiguchi Hiroshi;Furutani Takumi;Ohshima Tamiko;Yagyu Yoshihito;Ihara Takeshi;Shinohara Masanori;Suda Yoshiaki - 通讯作者：
Suda Yoshiaki
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