Development of a System for 3-D Micro Metrology Using a Nano Order Diameter Optical Fiber Probe

使用纳米级直径光纤探头开发 3D 微观计量系统

基本信息

批准号：
26420392
负责人：
Murakami Hiroshi
金额：
$ 3.16万
依托单位：
The University of Kitakyushu
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
起止时间：
2014-04-01 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420392/
关键词：
小径穴測定微細形状測定光ファイバプローブ CO２レーザ

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

微細三次元形状測定用極小径光ファイバプローブの製作

用于精细三维形状测量的超小直径光纤探头的制作

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
内山　晃介;村上　洋;甲木昭雄;佐島隆生;山本　隆彦;永田　良介;藤吉　国孝;宮國　健司;青木　響也
通讯作者：
青木　響也

Study of a Vibrating Fiber Probing System for 3-D Microstructure: Performance Improvement

3D 微观结构振动光纤探测系统的研究：性能改进

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroshi MURAKAMI; Akio KATSUKI; Takao SAJIMA; Takuya SUEMATSU
通讯作者：
Takuya SUEMATSU

Fabrication of an ultra-small-diameter optical fiber probe using an acid-etch technique and a CO2 laser for 3D micro metrology

使用酸蚀刻技术和 CO2 激光器制造用于 3D 微观计量的超小直径光纤探针

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
1.1
作者：
Hiroshi Murakami; Akio Katsuki; Takao Sajima;Kosuke Uchiyama
通讯作者：
Kosuke Uchiyama

Development of a System for 3-D Micro Metrology Using an Ultra-Small-Diameter Optical Fiber Probe

使用超小直径光纤探头开发 3D 微量测系统

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroshi Murakami; Akio Katsuki; Takao Sajima; Narumi Tokuoh; Mitsuyoshi Fukuda
通讯作者：
Mitsuyoshi Fukuda

極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発―光学系の改良―

使用超小直径光纤探头的精细三维形状精度测量系统的开发 - 光学系统的改进 -

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
村上洋;甲木昭雄;佐島隆生;吉田一朗;浜野康雄;本田裕;内山晃介
通讯作者：
内山晃介

DOI：
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作者：
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2022
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影响因子：
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通讯作者：
Aiba Hirofumi

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影响因子：
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影响因子：
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2002-03-14
期刊：
影响因子：
0
作者：
Jinno Hiromitsu;I. Osamu;Yagi Hiroshi;Kobayashi Naoyuki;Suzuki Fumio;Ohtaka Hitoshi;Murakami Hiroshi
通讯作者：
Murakami Hiroshi