Effects of dielectric loss mechanisms at electron trapping sites on damage recovery and reliability improvement in thin films

电子捕获位点介电损耗机制对薄膜损伤恢复和可靠性改进的影响

基本信息

  • 批准号:
    21K18875
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 4.08万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 财政年份:
    2021
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2021-07-09 至 2023-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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Functional nitrogen science based on plasma processing: quantum devices, photocatalysts and activation of plant defense and immune systems
基于等离子体处理的功能氮科学:量子器件、光催化剂以及植物防御和免疫系统的激活
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac25dc
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro
  • 通讯作者:
    Nozaki Tomohiro
Functional nitrogen science based on plasma processing: quantum devices, photocatalysts and activation of plant defense and immune systems
基于等离子体处理的功能氮科学:量子器件、光催化剂以及植物防御和免疫系统的激活
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac25dc
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro
  • 通讯作者:
    Nozaki Tomohiro
Functional nitrogen science based on plasma processing: quantum devices, photocatalysts and activation of plant defense and immune systems
基于等离子体处理的功能氮科学:量子器件、光催化剂以及植物防御和免疫系统的激活
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac25dc
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro
  • 通讯作者:
    Nozaki Tomohiro
Ion irradiation-induced sputtering and surface modification of BN films prepared by a reactive plasma-assisted coating technique
反应等离子体辅助涂层技术制备BN薄膜的离子辐照诱导溅射和表面改性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Matsuda Takayuki;Hamano Takashi;Asamoto Yuya;Noma Masao;Yamashita Michiru;Hasegawa Shigehiko;Urabe Keiichiro;Eriguchi Koji
  • 通讯作者:
    Eriguchi Koji
Functional nitrogen science based on plasma processing: quantum devices, photocatalysts and activation of plant defense and immune systems
基于等离子体处理的功能氮科学:量子器件、光催化剂以及植物防御和免疫系统的激活
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac25dc
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro
  • 通讯作者:
    Nozaki Tomohiro

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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    $ 4.08万
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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    $ 4.08万
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