Observation of the femto second laser ablation process by the soft x-ray laser probe towards the control of laser nano-processing
软X射线激光探针观察飞秒激光烧蚀过程,实现激光纳米加工控制
基本信息
- 批准号:16K04989
- 负责人:
- 金额:$ 3万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2016
- 资助国家:日本
- 起止时间:2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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Observation of the Dependence on the Fluence and Materials in Femto-second Laser Ablation Process by Using the Soft x-ray Laser Probe
利用软x射线激光探针观察飞秒激光烧蚀过程中流量和材料的依赖性
- DOI:
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:N. HASEGAWA; T. TOMITA; M. NISHIKINO; T. EYAMA; N. KAKIMOTO; Y. MINAMI; M. BABA; N. OHNISHI; A. M. ITO; T. KAWACHI; M. YAMAGIWA;T. SUEMOTO
- 通讯作者:T. SUEMOTO
Measurement of ion Mach number of arcjet plasmas by a directional Langmuir probe under high-gas pressure
高气压下定向朗缪尔探针测量电弧喷射等离子体的离子马赫数
- DOI:
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:1.5
- 作者:W. Sasano; T. Shikama; K. Kozue; L. Matsuoka; N. Tamura;S. Namba
- 通讯作者:S. Namba
Surface Ablation by Soft X-ray Laser Pulse for EUV nano-scale fabrication
用于 EUV 纳米级制造的软 X 射线激光脉冲表面烧蚀
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:錦野 将元; 石野 雅彦; タンフン ヂン; 長谷川 登; 坂上 和之; 東口 武史; 鷲尾 方一; 木下 博雄
- 通讯作者:木下 博雄
Properties of a compact plasma-based x-ray laser at QST-KPSI
QST-KPSI 紧凑型等离子体 X 射线激光器的特性
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Thanhhung Dinh; Noboru Hasegawa; Kiminori Kondo; Shinichi Namba; Masaharu Nishikino; Tetsuya Kawachi
- 通讯作者:Tetsuya Kawachi
Enhancement of water-window soft x-ray emission from laser-produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere
低压氮气气氛下激光产生金等离子体的水窗软X射线发射增强
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:3.6
- 作者:Christian John; 岸本 牧; Tomoyuki Johzaki; Takeshi Higashiguch; Noboru Kakunaka; Yasuhiro Matsumoto; 長谷川 登; 錦野 将元; Takeo Ejima; Atsushi Sunahara; Takuma Endo
- 通讯作者:Takuma Endo
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