Development of defect-controlled hetero-junction contact with amorphous silicon insertion
开发非晶硅插入的缺陷控制异质结接触
基本信息
- 批准号:25870466
- 负责人:
- 金额:$ 2.75万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2015-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Estimation of Phosphorus-implanted 4H-SiC Layer Activation by EBSD pattern analysis
通过 EBSD 图案分析估计磷注入 4H-SiC 层的激活
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Hiroaki Hanafusa; Keisuke Maruyama; Shohei Hayashi;Seiichiro Higashi
- 通讯作者:Seiichiro Higashi
Estimation of Phosphorus-implanted 4H-SiC Layer Recrystallization by Electron-Back-Scattering Diffraction Pattern Analysis
通过电子背散射衍射图分析估算磷注入 4H-SiC 层再结晶
- DOI:10.4028/www.scientific.net/msf.821-823.391
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Hiroaki Hanafusa; Keisuke Maruyama; Shohei Hayashi;Seiichiro Higashi
- 通讯作者:Seiichiro Higashi
EBSD パターン明瞭度を用いたリン注入4H-SiC 層の結晶性評価
使用 EBSD 图案清晰度评估磷注入 4H-SiC 层的结晶度
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:花房宏明;丸山佳祐;林 将平;東清一朗
- 通讯作者:東清一朗
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