Development of defect-controlled hetero-junction contact with amorphous silicon insertion

开发非晶硅插入的缺陷控制异质结接触

基本信息

  • 批准号:
    25870466
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.75万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 财政年份:
    2013
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2013-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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会议论文数量(0)
专利数量(0)
Estimation of Phosphorus-implanted 4H-SiC Layer Activation by EBSD pattern analysis
通过 EBSD 图案分析估计磷注入 4H-SiC 层的激活
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hiroaki Hanafusa; Keisuke Maruyama; Shohei Hayashi;Seiichiro Higashi
  • 通讯作者:
    Seiichiro Higashi
Estimation of Phosphorus-implanted 4H-SiC Layer Recrystallization by Electron-Back-Scattering Diffraction Pattern Analysis
通过电子背散射衍射图分析估算磷注入 4H-SiC 层再结晶
  • DOI:
    10.4028/www.scientific.net/msf.821-823.391
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hiroaki Hanafusa; Keisuke Maruyama; Shohei Hayashi;Seiichiro Higashi
  • 通讯作者:
    Seiichiro Higashi
EBSD パターン明瞭度を用いたリン注入4H-SiC 層の結晶性評価
使用 EBSD 图案清晰度评估磷注入 4H-SiC 层的结晶度
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    花房宏明;丸山佳祐;林 将平;東清一朗
  • 通讯作者:
    東清一朗
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    2020
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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    2005
  • 资助金额:
    $ 2.75万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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