Deposition of carbon films due to decomposition of source molecules during pulse plasmas and elucidation of its reactions
脉冲等离子体过程中源分子分解导致碳膜沉积及其反应的阐明
基本信息
- 批准号：23K03372
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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10.1541/ieejfms.134.41 - 发表时间：
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- 作者：
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- 发表时间：
2016 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
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松田 良信
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- 资助金额：
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Studentship
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- 批准号：
EP/X026884/1 - 财政年份：2023
- 资助金额：
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Research Grant
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- 批准号：
22KJ0959 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.91万 - 项目类别：
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- 批准号：
10039806 - 财政年份：2022
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Collaborative R&D
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- 批准号：
21H01945 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.91万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)