Establishment of a real time measurement method of carbon film deposition process and its surface modification process during plasma generated in liquid, and the clalification of these processes

液体等离子体中碳膜沉积过程及其表面改性过程实时测量方法的建立及过程的阐明

基本信息

  • 批准号:
    23654203
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.33万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 财政年份:
    2011
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2011 至 2012
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

Plasma generated in liquid is a new promising plasma source. However, the reaction measurement is difficult because plasma diagnostics have been developed for low-pressure plasma process. Thereby, we developed a new measurement system for plasma in liquid, using Infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). We succeeded in the measurement of the plasma process: the changes in chemical states of the solution and the chemical states of deposits due to the plasma generation in the solution. We also succeeded in the measurement of the reaction of the plasma with bio-model materials. This result suggests the MIR-IRAS is suitable to diagnostics of plasma in liquid for the bio- and medical application.
在液体中产生的等离子体是一种新的有前途的等离子体源。然而,反应测量很困难,因为等离子体诊断是针对低压等离子体过程而开发的。因此,我们开发了一种新的液体等离子体测量系统,采用多重内反射几何结构的红外吸收光谱 (MIR-IRAS)。我们成功测量了等离子体过程:溶液化学状态的变化以及由于溶液中等离子体的产生而导致的沉积物化学状态的变化。我们还成功测量了等离子体与生物模型材料的反应。这一结果表明 MIR-IRAS 适用于生物和医学应用中液体血浆的诊断。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解析
液体中自组装薄膜与等离子体反应的红外光谱分析
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    吉田裕太;丸野尚紀;篠原正典;松田良信;藤山 寛
  • 通讯作者:
    藤山 寛
Development of MIR-IRAS monitoring system for solution plasmas
溶液等离子体MIR-IRAS监测系统的开发
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    A. Fukae; K. Amano; Y. Takaki; Y. Takami; M. Shinohara; Y. Matsuda; H. Fujiyama
  • 通讯作者:
    H. Fujiyama
In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscop
用红外光谱仪原位监测等离子体引发的反应
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Masanori Shinohara
  • 通讯作者:
    Masanori Shinohara
ダイヤモンド様薄膜、その製造方法及び製造装置
类金刚石薄膜及其制造方法和制造设备
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Recent Trends of Plasma Engineering
等离子工程的最新趋势
  • DOI:
    10.1541/ieejfms.134.41
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    篠原 正典; 金 載浩
  • 通讯作者:
    金 載浩
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    2007
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    $ 2.33万
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  • 资助金额:
    $ 2.33万
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