Development of novel nano-processing methods using chemically active negative ions with uniform energy
使用具有均匀能量的化学活性负离子开发新型纳米加工方法
基本信息
- 批准号：21K18618
- 负责人：
- 金额：$ 4.16万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2021
- 资助国家：日本
- 起止时间：2021-07-09 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
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科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
First result of extracting not only negative but also positive ion beams from RF source for investigating O- and H- applied to novel nano scale processing
从射频源提取负离子束和正离子束以研究 O- 和 H- 应用于新型纳米级加工的第一个结果
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：C. Katsuki;Y. Fujimoto;H. Himura;A. Sanpei;T. Kanki;K. Tsumori;H. Nakano
- 通讯作者：H. Nakano
Three-dimensional reconstruction of large non-uniform surface wave plasma using multi-lens array attached to a single viewing port
使用连接到单个观察口的多透镜阵列对大型非均匀表面波等离子体进行三维重建
- DOI：10.35848/1347-4065/ac647f
- 发表时间：2022
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Ninomiya T.;Sanpei A.;Niimoto M.;Inagaki S.;Himura H.
- 通讯作者：Himura H.
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Himura Haruhiko其他文献
Multiple-pinhole camera for monitoring three-dimensional plasma shape
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- DOI：
10.1016/j.nima.2022.166857 - 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0
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Himura Haruhiko
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Nakano Haruhisa
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完全支持现有环形场线圈以研究环形等离子体中的双流体物理的最佳设置
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- 影响因子：1.7
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2020 - 期刊：
- 影响因子：1.6
- 作者：
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Kitamura Kyoko
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2019 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
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Sampei Mai
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研究在规范通量管中冷冻的环形流动血浆的国际合作实验
- 批准号：
20KK0063 - 财政年份：2020
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$ 4.16万 - 项目类别：
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负氧离子纳米加工及室温均匀团簇的研究
- 批准号：
17K18769 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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- 批准号：
26287144 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Production of ZnO using a mist of zinc acetate and negative oxygen ions
使用醋酸锌雾和负氧离子生产氧化锌
- 批准号：
25600125 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research