Gecko-inspired electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers

受壁虎启发的静电吸盘由聚合物静电感应纤维组成

基本信息

批准号：
22360102
负责人：
SAITO Shigeki
金额：
$ 11.98万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
起止时间：
2010 至 2012
项目状态：
已结题

项目摘要

In this research, an ESC that can handle curved/rough surface is developed. An ESC consisting of compliant electrostatic inductive fibers which transform according to the profile of surface has been proposed for such use. The fundamental idea of comes from the inspiration based on gecko which can quickly adhere and move on walls or ceilings having curved/rough surface; it is well-known that the tip of such surprising capability is due to the hierarchical fiber micro/nano-structure on the finger-tips. The potential and feasibility of the fiber ESC proposed are shown by prototyping electrostatic inductive fibers and new type of ESC consisting of the fibers that can work for curved or rough surface through both experimental and theoretical approaches.

在这项研究中，开发了一种可以处理弯曲/粗糙表面的ESC。已经提出了一种由顺应性静电感应纤维组成的ESC，该静电感应纤维根据表面轮廓进行变换。其基本理念来源于壁虎的灵感，壁虎可以在具有弯曲/粗糙表面的墙壁或天花板上快速粘附和移动；众所周知，指尖具有如此惊人的能力，是由于指尖上的分级纤维微纳结构。通过实验和理论方法对静电感应纤维和由可用于弯曲或粗糙表面的纤维组成的新型 ESC 进行原型设计，证明了所提出的纤维 ESC 的潜力和可行性。

项目成果

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专著数量（0）

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会议论文数量（0）

专利数量（0）

静電誘導ファイバーによる物体吸着機構の開発

利用静电感应纤维开发物体吸附机构

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
0
作者：
早田史明;宝田亘;鞠谷雄士;齋藤滋規
通讯作者：
齋藤滋規

静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発

利用静电感应纤维一体结构开发兼容曲面的静电吸盘

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
澤井賢司; 宝田亘; 鞠谷雄士; 高橋邦夫; 齋藤滋規
通讯作者：
齋藤滋規

双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響

双极静电感应纤维电极截面形状对产生力的影响

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
前薗圭佑; 高橋邦夫; 齋藤滋規
通讯作者：
齋藤滋規

Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure

基于毛状微结构的柔顺静电吸盘

DOI：
10.1088/0964-1726/22/1/015019
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
4.1
作者：
Shigeki SAITO; Fumiaki SODA Radon DHELIKA; Kunio TAKAHASHI; Wataru TAKARADA; Takeshi KIKUTANI
通讯作者：
Takeshi KIKUTANI

Adhesion between side surface of an elastic beam and flat surface of a rigid body

弹性梁侧面与刚体平面间的粘附力