Atomic layer etching of transition metal chalcogenide with gas cluster ion beam
气体团簇离子束对过渡金属硫族化物的原子层刻蚀
基本信息
- 批准号：17K05061
- 负责人：
- 金额：$ 3.08万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2017
- 资助国家：日本
- 起止时间：2017-04-01 至 2020-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
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Atomic layer etching with gas cluster ion beam irradiation in reactive gas vapor
反应气体蒸气中气体团簇离子束照射的原子层蚀刻
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Noriaki Toyoda;Akihiro Ogawa;Isao Yamada
- 通讯作者：Isao Yamada
Low temperature wafer bonding with gas cluster ion beams
使用气体团簇离子束进行低温晶圆键合
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Noriaki Toyoda;Shota Ikeda
- 通讯作者：Shota Ikeda
Optimization of GCIB irradiation conditions for surface activated bonding Proceedings of 5th Int. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
表面活化粘合 GCIB 辐照条件的优化第五届国际会议论文集
- DOI：10.23919/ltb-3d.2017.7947462
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Shota Ikeda;Tomoya Sasaki;Noriaki Toyoda
- 通讯作者：Noriaki Toyoda
Irradiation conditions of gas cluster ion beam for surface-activated bonding
表面活化键合气体团簇离子束的照射条件
- DOI：10.7567/jjap.57.02ba02
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Noriaki Toyoda;Tomoya Sasaki;Shota Ikeda;Isao Yamada
- 通讯作者：Isao Yamada
hfac吸着表面へのGCIB照射によるNiの原子層エッチング
hfac吸附表面GCIB辐照对Ni的原子层刻蚀
- DOI：
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：鶴岡 徹;蘇 進;辻田卓司;西谷雄;濱村朋史;稲富友;名倉健祐;寺部 一弥;植松 功多, 豊田 紀章
- 通讯作者：植松 功多, 豊田 紀章
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
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斎藤 慎彦
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
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