Expolatory Academic Research on In-water Sensor Platform by Silicon and Organic Material Integration

硅与有机材料集成水下传感器平台的探索性学术研究

基本信息

批准号：
16H04345
负责人：
Mita Yoshio
金额：
$ 10.65万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H04345/
关键词：
MEMS 高電圧集積回路 CMOS-MEMS 電気浸透流マイクロマシンマイクロアクチュエータバイオミメティクス精密部品加工先端機能デバイス知能ロボティクス電子デバイス・機器電子デバイス・集積回路知能ロボティックス

项目摘要

项目成果

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会议论文数量（0）

专利数量（0）

Fabrication of PbS QD/Silicon Hybrid Infrared Photodiode for LSI Platform

用于 LSI 平台的 PbS QD/硅混合红外光电二极管的制造

DOI：
10.1541/ieejsmas.138.307
发表时间：
2018
期刊：
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
影响因子：
0
作者：
Higo Akio;Mita Yoshio;Wang Haibin;Kubo Takaya;Segawa Hiroshi;Usami Naoto;Okamoto Yuki;Yamada Kentaro;Takeshiro Yudai;Sugiyama Masakazu
通讯作者：
Sugiyama Masakazu

15-year educational experience on autonomous electronic information devices by flipped classroom and try-by-yourself methods

15年自主电子信息器件翻转课堂、亲自尝试教学经验

DOI：
10.1049/iet-cds.2016.0406
发表时间：
2017
期刊：
IET Circuits, Devices & Systems
影响因子：
0
作者：
Mita Yoshio;Kawahara Yoshihiro
通讯作者：
Kawahara Yoshihiro

Visualizing is Believing - Test Strucutures for Deep-Etched High Aspect Ratio MEMS Process and Device Characterization (Invited)

可视化是可信的——深蚀刻高深宽比 MEMS 工艺和器件表征的测试结构（特邀）

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Ueda;S. Aichi;and H. Asano;Mita Yoshio
通讯作者：
Mita Yoshio

On-Chip MEMSアクチュエータ駆動のためのMEMS後加工5V標準CMOS素子を利用した30Vスイッチング回路(口頭発表)

使用 MEMS 后处理 5V 标准 CMOS 元件驱动片上 MEMS 执行器的 30V 开关电路（口头演示）

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Ueda;H. Itou and H. Asano;岡本有貴
通讯作者：
岡本有貴

高アスペクト比深掘りトレンチの均一な電解めっきを可能とする超臨界流体薄膜堆積法で作製された低抵抗銅薄膜種層

采用超临界流体薄膜沉积方法制备的低电阻铜薄膜种子层，可实现高深宽比深沟槽的均匀电解电镀

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
宇佐美尚人;太田悦子;肥後昭男;百瀬健;三田吉郎
通讯作者：
三田吉郎

DOI：
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作者：
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Mita Yoshio其他文献

Study on Electrostatic Inchworm Motor Device for a Heterogeneous Integrated Microrobot System

异构集成微型机器人系统静电尺蠖电机装置研究

DOI：
10.5104/jiepeng.12.e18-009-1
发表时间：
2019
期刊：
Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging
影响因子：
0
作者：
Saito Ken;Contreras Daniel S.;Takeshiro Yudai;Okamoto Yuki;Hirao Satoshi;Nakata Yuya;Tanaka Taisuke;Kawamura Satoshi;Kaneko Minami;Uchikoba Fumio;Mita Yoshio;Pister Kristofer S. J.
通讯作者：
Pister Kristofer S. J.

抵抗変化メモリの動作解析に向けたTEM その場計測

用于电阻变化存储器操作分析的 TEM 原位测量

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Mita Yoshio;Kawahara Yoshihiro;有田正志，高橋庸夫
通讯作者：
有田正志，高橋庸夫

Circularly Polarized Third Harmonic Generation in Vacuum Ultraviolet Region Using Square Lattice Photonic Crystal Nanomembrane

使用方格光子晶体纳米膜在真空紫外区产生圆偏振三次谐波

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
Konishi Kuniaki;Akai Daisuke;Mita Yoshio;Ishida Makoto;Yumoto Junji;Kuwata-Gonokami Makoto
通讯作者：
Kuwata-Gonokami Makoto

反応性スパッタ法により作製したTiOx 薄膜の電気特性評価

反应溅射法制备TiOx薄膜电学性能评价

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
Higo Akio;Sawamura Tomoki;Fujiwara Makoto;Ota Etsuko;Mizushima Ayako;Lebrasseur Eric;Arakawa Taro;Mita Yoshio;福本泰士，有田正志，福地厚，高橋庸夫
通讯作者：
福本泰士，有田正志，福地厚，高橋庸夫