Evaluation of physical properties of nano-scale structures by combination of MEMS and in-situ TEM observation
MEMS与原位TEM观察相结合评估纳米级结构的物理性能
基本信息
- 批准号：16H03819
- 负责人：
- 金额：$ 12.48万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2016
- 资助国家：日本
- 起止时间：2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Role of Preferential Crystallographic Orientation in Piezoresistance Anisotropy for Cubic Polycrystalline Aggregates
择优晶体取向在立方多晶聚集体压阻各向异性中的作用
- DOI：10.18494/sam.2018.1960
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：1.2
- 作者：Ando Taeko;Toriyama Toshiyuki
- 通讯作者：Toriyama Toshiyuki
Fabrication of High-Aspect Nanoscale Hole in Si with Photo-Electro-Chemical Etching
利用光电化学蚀刻在硅中制造高深宽纳米级孔
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Taeko Abdi;Jyunya Touno;Noriyuki Tamura
- 通讯作者：Noriyuki Tamura
Piezoresistive Rosette Gauge Taking into Account of Silicon Cubic Crystal Anisotropy
考虑硅立方晶体各向异性的压阻玫瑰花计
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kohei Okada;Shinya Nakamura and Taeko Ando;中村真也，安藤妙子，上野晃平;T. Ando and T. Toriyama
- 通讯作者：T. Ando and T. Toriyama
Piezoresistance for Polycrystalline Aggregates Represented by Crystallite Orientation Distribution Function
以微晶取向分布函数表示的多晶聚集体的压阻
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kohei Okada;Syugo Tanaka;Kensuke Nakata;Masahiro Nakajima and Taeko Ando;安藤妙子;Taeko Ando and Toshiyuki Toriyama
- 通讯作者：Taeko Ando and Toshiyuki Toriyama
ナノ構造の機械物性と評価
纳米结构的机械性能和评估
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kohei Okada;Syugo Tanaka;Kensuke Nakata;Masahiro Nakajima and Taeko Ando;安藤妙子
- 通讯作者：安藤妙子
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