Crystallization of Silicon Thin Films by Microwave Rapid Heating

微波快速加热硅薄膜结晶

• 批准号: 16K06255
• 负责人: Hasumi Masahiko
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Tokyo University of Agriculture and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K06255/
• 关键词: マイクロ波加熱; シリコン; 結晶化; 活性化; ソーラーセル; マイクロ波; 加熱炉; アモルファスシリコン; 熱拡散ドーピング; 電子デバイス・機器; ナノ材料; 太陽電池; 半導体物性

项目成果

Crystallization of Silicon Thin Films By Microwave-Induced Rapid Heating

微波诱导快速加热硅薄膜的结晶

• 发表时间: 2016
• 期刊: Proc. in PhotoVoltaic Technical Conference
• 作者: S. Kimura;K. Ota;M. Hasumi;A. Suzuki;M. Ushijima;and T. Sameshima
• 通讯作者: and T. Sameshima

Crystallization and activation of silicon by microwave rapid annealing

• DOI: 10.1007/s00339-016-0220-7
• 发表时间: 2016-06
• 期刊: Applied Physics A
• 作者: S. Kimura;Kosuke Ota;M. Hasumi;Ayuta Suzuki;M. Ushijima;T. Sameshima

Heat treatment in liquid water at 80oC used to improve the interface characteristic of metal-oxide-semiconductor capacitor

80℃液态水中热处理改善金属氧化物半导体电容器界面特性

• 发表时间: 2018
• 作者: Yoshito Hirokawa;Masahiko Hasumi;Toshiyuki Sameshima;Tomohisa Mizuno
• 通讯作者: Tomohisa Mizuno

Heating equipment with carbon heating used to activate silicon and fabricate its solar cells

用于激活硅并制造太阳能电池的碳加热加热设备

• 发表时间: 2018
• 作者: Toshitaka Kikuchi;Takashi Sugawara;Takuma Uehara;Tomoyoshi Miyazaki;Go Kobayashi;Masahiko Hasumi;Toshiyuki Sameshima
• 通讯作者: Toshiyuki Sameshima

Microwave Rapid Heating Used for Diffusing Impurities in Silicon

微波快速加热用于扩散硅中的杂质

• 发表时间: 2016
• 作者: K. Ota;S. Kimura;M. Hasumi;A. Suzuki;M. Ushijima;T. Sameshima
• 通讯作者: T. Sameshima