Elucidation of fine polishing mechanism by measuring interfacial potential during chemical mechanical polishing
通过测量化学机械抛光过程中的界面电位来阐明精细抛光机制
基本信息
- 批准号：16K06009
- 负责人：
- 金额：$ 3万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2016
- 资助国家：日本
- 起止时间：2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Evaluation of hydration free energy of glass by electric potential change during chemical mechanical polishing
通过化学机械抛光过程中电势变化评价玻璃的水合自由能
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：S. Suda;R. Fukuzaki;K. Kawahara
- 通讯作者：K. Kawahara
Chemical mechanical polishing of glass
玻璃化学机械抛光
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Sugimoto;S. Suda;K. Kawahara;S. Suda
- 通讯作者：S. Suda
ガラスのCMPにおける水和自由エネルギーの評価
玻璃CMP中水合自由能的评价
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Sugimoto;S. Suda;K. Kawahara;福嵜遼，須田聖一
- 通讯作者：福嵜遼，須田聖一
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
SUDA Seiichi其他文献
SUDA Seiichi的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('SUDA Seiichi', 18)}}的其他基金
Correlation between grain-boundary character and electrical properties of cerium oxide ceramics
氧化铈陶瓷晶界特征与电性能的相关性
- 批准号：
22560681 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 3万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
相似海外基金
反応中間体の電荷移動を鍵とするエステルからの脱炭酸炭素－炭素結合形成反応の開発
利用反应中间体的电荷转移开发酯脱羧碳-碳键形成反应
- 批准号：
24KJ0447 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 3万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Development and In Vivo Validation of a Theoretical Framework and Practical Methods to Improve Safety and Efficacy of Neuromodulation Electrodes
提高神经调节电极安全性和有效性的理论框架和实用方法的开发和体内验证
- 批准号：
10572029 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 3万 - 项目类别：
Creation of Oxygen Evolution Catalysts Using Synergistic Charge Transfer Enhancement by Mixing Transition Metal Ions
通过混合过渡金属离子的协同电荷转移增强来制备析氧催化剂
- 批准号：
23H01738 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 3万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
配位子-金属電荷移動遷移を鍵とする光鉄触媒の開発とフルオロアルキル化反応への応用
基于配体-金属电荷转移转变的光铁催化剂的开发及其在氟烷基化反应中的应用
- 批准号：
23KF0093 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 3万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Rapid point-of-care detection of Trichomonas Vaginalis
快速即时检测阴道毛滴虫
- 批准号：
10699836 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 3万 - 项目类别：