Diagnostics of debris from laser-produced plasma with tin droplet target for EUV light source
使用 EUV 光源锡滴目标诊断激光产生的等离子体碎片
基本信息
- 批准号：20760025
- 负责人：
- 金额：$ 2.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2008
- 资助国家：日本
- 起止时间：2008 至 2009
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The ablation dynamics of tin micro-droplet target irradiated by double pulses was investigated for extreme ultraviolet lithography source. Debris from Sn droplet target was visualized by the laser-induced fluorescence imaging and shadowgraph imaging.
研究了极紫外光刻光源双脉冲辐照下锡微滴靶材的烧蚀动力学。通过激光诱导荧光成像和阴影成像来可视化来自锡液滴目标的碎片。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性イメージング
使用锡滴对激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性进行成像
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：中村大輔; 秋山智哉; 遠矢和勇騎; 岡崎功太; 高橋昭彦; 岡田龍雄
- 通讯作者：岡田龍雄
Dynamics of debris from laserirradiated Sn droplet for EUV lithography light source
EUV 光刻光源激光辐照 Sn 液滴碎片的动力学
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okazaki; D. Nakamura; T. Akiyama; K. Toya; A. Takahashi; T. Okada
- 通讯作者：T. Okada
錫ターゲットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性
使用锡靶的激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：中村大輔; 秋山智哉; 高橋昭彦; 岡田龍雄
- 通讯作者：岡田龍雄
Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source
EUV 光刻光源锡微滴烧蚀动力学诊断
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：D. Nakamura; K. Okazaki; T. Akiyama; K. Toya; A. Takahashi; T. Okada; T. Yanagida; Y. Ueno; Y. Sasaki; T. Suganuma; M. Nakano; H. Komori; A. Sumitani; A. Endo
- 通讯作者：A. Endo
Imaging Diagnostics of Debris from LaserProduced Tin Plasma with Droplet Target for EUV Light Source
使用 EUV 光源的液滴目标对激光产生的锡等离子体碎片进行成像诊断
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：D. Nakamura; T. Akiyama; A. Takahashi; T. Okada
- 通讯作者：T. Okada
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- DOI：
- 发表时间：
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- 影响因子：0
- 作者：
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- DOI：
10.5179/benthos.76.39 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
NAKAMURA Daisuke;OKADA Satoru;TSUKAGOSHI Akira;SATO Shin’ichi - 通讯作者：
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24720351 - 财政年份：2012
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23540557 - 财政年份：2011
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21200019 - 财政年份：2009
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$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research a proposed research project)
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$ 2.75万 - 项目类别：
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$ 2.75万 - 项目类别：
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21H04452 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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- 批准号：
20H01881 - 财政年份：2020
- 资助金额：
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- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
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