A study and development on MQW strain control MEMS for wavelength tunable laser

波长可调谐激光器MQW应变控制MEMS的研究与开发

• 批准号: 20710099
• 负责人: HIGO Akio
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20710099/
• 关键词: マイクロ・ナノデバイス; マイクロマシン; 量子井戸; メムス; 可変波長レーザ; 多重量子井戸

In this study, we introduce of micro electro mechanical systems (MEMS) to conventional compound semiconductor laser structures. At first, we proposed and fabricated the MEMS-grating structure with comb drive actuators but the estimate of wavelength shifts is quite small. Therefore, in order to apply external force to multiple quantum well (MQW) structure by MEMS, we developed the surface active bonding technology and compound semiconductor chips were successfully bonded on silicon. We also measured optical emitting by current injection from silicon to MQW.

在这项研究中，我们将微机电系统（MEMS）引入到传统的化合物半导体激光器结构中。起初，我们提出并制造了带有梳状驱动执行器的 MEMS 光栅结构，但波长偏移的估计相当小。因此，为了通过MEMS对多量子阱（MQW）结构施加外力，我们开发了表面活性键合技术，并成功地将化合物半导体芯片键合在硅上。我们还通过从硅到 MQW 的电流注入来测量光发射。

项目成果

Design and Simulation of Hybrid Direct Coupling Laser with 3-5 MQW and Silicon Waveguide by Alignment Free Direct Bonding

3-5 MQW 和硅波导免对准直接键合混合直接耦合激光器的设计与仿真

• 发表时间: 2008
• 作者: Ling

SiフォトニックMEMS gratingの作製方法についての検討

硅光子MEMS光栅制作方法研究

• 发表时间: 2009
• 作者: 石塚彰; 肥後昭男; 中野義昭
• 通讯作者: 中野義昭

MEMS Integrated with Silicon Photonic Wire Waveguides

MEMS 与硅光子线波导集成

• 发表时间: 2009
• 作者: A. Higo; H. Toshiyoshi; H. Fujita; Y. Nakano
• 通讯作者: Y. Nakano

MEMS Integrated with Silicon Photonic Wire Waveguides

MEMS 与硅光子线波导集成

• 发表时间: 2009
• 作者: A.Higo; H.Toshiyoshi; H.Fujita; Y.Nakano
• 通讯作者: Y.Nakano

Semiconductive Properties of Heterointegration of InP/InGaAs on High Doped Silicon Wire Waveguide for Silicon Hybrid Laser

硅混合激光器用高掺杂硅线波导上 InP/InGaAs 异质集成的半导体特性

• 发表时间: 2009
• 作者: Ling