development of ionic charge, electron density, and electron temperature measurement system for soft-X ray light sources

开发软X射线光源的离子电荷、电子密度和电子温度测量系统

基本信息

  • 批准号:
    15H05472
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 14.48万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2018-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)
Studies of Laser-produced Tin plasmas for EUV Light Sources using Collective Thomson Scattering
使用集体汤姆逊散射研究用于 EUV 光源的激光产生的锡等离子体
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K. Tomita;Y. Sato;T. Eguchi;S. Tsukiyama;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
  • 通讯作者:
    H. Mizoguchi
Two-dimensional profiles of electron density and temperature of laser-produced tin microplasmas for extreme-ultraviolet lithography light sources
用于极紫外光刻光源的激光产生的锡微等离子体的电子密度和温度的二维分布
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
  • 通讯作者:
    H. Mizoguchi
Diagnostics of extreme-ultraviolet (EUV) light source plasmas for next generation semiconductor lithography
用于下一代半导体光刻的极紫外 (EUV) 光源等离子体的诊断
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
  • 通讯作者:
    H. Mizoguchi
Two-dimensional electron density and temperature profiles of EUV light sources with 4.0% CE
二维%20电子%20密度%20and%20温度%20profiles%20of%20EUV%20light%20sources%20with%204.0%%20CE
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
  • 通讯作者:
    H. Mizoguchi
軟X線光源用多価電離プラズマの協同トムソン散乱計測
软 X 射线光源多重电离等离子体的协同汤姆逊散射测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤 祐太;江口 寿明;築山 昌一;深田 来夢;富田 健太郎;内野 喜一郎
  • 通讯作者:
    内野 喜一郎
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Multi-energy handling of fast flavor conversions with matter collisions
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  • 影响因子:
    0
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Pan Yiming;Tomita Kentaro;Kawai Yoshinobu;Matsukuma Masaaki;Uchino Kiichiro;石塚隆之・牛山素行
  • 通讯作者:
    石塚隆之・牛山素行
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  • 影响因子:
    1.5
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    Pan Yiming;Tomita Kentaro;Kawai Yoshinobu;Matsukuma Masaaki;Uchino Kiichiro
  • 通讯作者:
    Uchino Kiichiro
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常压空气中脉冲正流光放电电子速度分布函数的测量
  • DOI:
    10.1088/1361-6463/ab58b4
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Tomita Kentaro;Inada Yuki;Komuro Atsushi;Zhang Xiang;Uchino Kiichiro;Ono Ryo
  • 通讯作者:
    Ono Ryo
超高速時間分解電子線回折法 システムとそのアプリケーション
超快时间分辨电子衍射系统及其应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Pan Yiming;Tomita Kentaro;Uchino Kiichiro;Sunahara Atsushi;Nishihara Katsunobu;羽田真毅
  • 通讯作者:
    羽田真毅

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  • 资助金额:
    $ 14.48万
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    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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聚变等离子体瞬态突变现象超快汤姆逊散射系统的实现
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    23H01162
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 14.48万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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