Modellierung kohärenter Streulicht-Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte im Mikrometerbereich
对微米范围内的确定性纳米结构和随机表面缺陷的相干散射光测量过程进行建模
基本信息
- 批准号:5436153
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Priority Programmes
- 财政年份:2004
- 资助国家:德国
- 起止时间:2003-12-31 至 2008-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
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项目摘要
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项目成果
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Professor Dr.-Ing. Sven Simon其他文献
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- 批准号:
21584845 - 财政年份:2006
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Collaborative Research Centres
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- 批准号:
5453639 - 财政年份:2005
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Research Grants
Modellierung kohärenter Streulicht-Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte im Mikrometerbereich
对微米范围内的确定性纳米结构和随机表面缺陷的相干散射光测量过程进行建模
- 批准号:
5436149 - 财政年份:2004
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes
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- 批准号:
5339886 - 财政年份:2001
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-- - 项目类别:
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- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes