Spectral polarization nano topometry for 3D nanostructure and constituent element

用于 3D 纳米结构和组成元素的光谱偏振纳米形貌测量

• 批准号: 15H03941
• 负责人: Otani Yukitoshi
• 金额: $ 10.9万
• 依托单位: Utsunomiya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03941/
• 关键词: ナノ形状計測; ナノ構造; ナノ材料; 分光偏光計; シングルピクセルカメラ; 分光ミュラー行列; ストークス・パラメータ; 計測工学; 解析・評価; 超精密計測; 応用光学・量子光工学; 知能機械; 3次元形状計測; 材料解析; 分光偏光解析; ナノ形状

项目成果

Spectroscopic Stokes imaging polarimeter for defect detection

用于缺陷检测的光谱斯托克斯成像旋光计

• 发表时间: 2017
• 作者: Yukitoshi Otani;Shuhei Shibata;Hiroshi Hasegawa
• 通讯作者: Hiroshi Hasegawa

Real-time Stokes polarimeter using three polarized beam splitter

使用三偏振分束器的实时斯托克斯旋光计

• 发表时间: 2017
• 作者: Shuhei Shibata;Shuichi Kawabata;Yukitoshi Otani
• 通讯作者: Yukitoshi Otani

PBSによる小型リアルタイム偏光計

带 PBS 的紧凑型实时旋光计

• 发表时间: 2017
• 作者: Tomohisa Horiguchi;Yukitoshi Otani;Nathan Hagen;柴田 秀平，川畑州一，大谷幸利
• 通讯作者: 柴田 秀平，川畑州一，大谷幸利

Reflection type of microscope for Mueller matrix polarimeter

米勒矩阵旋光仪反射式显微镜

• 发表时间: 2017
• 作者: Tomohisa Horiguchi;Yukitoshi Otani;Nathan Hagen
• 通讯作者: Nathan Hagen

ラインセンサー型分光ミュラー行列偏光計の空間情報を利用したナノ構造の欠陥検出

使用线传感器光谱米勒矩阵旋光计的空间信息检测纳米结构中的缺陷

• 发表时间: 2016
• 作者: Nia Natasha TIPOL ;Shuichi KAWABATA and Yukitoshi OTANI;二宮真,柴田秀平,杉坂純一郎,大谷幸利
• 通讯作者: 二宮真,柴田秀平,杉坂純一郎,大谷幸利