Improvement of the performance of Three Dimensional large scale stage by simultaneous measurement of location and metrological frame

通过位置和计量架同时测量提高三维大型平台的性能

基本信息

  • 批准号：
    24560305
  • 负责人：
    FURUTANI RYOSHU
  • 金额：
    $ 3.41万
  • 依托单位：
    Tokyo Denki University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份：
    2012
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2012-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Identification of Shape of Axis in XY Stage
XY 平台中轴形状的识别
  • DOI：
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Ryoshu FURUTANI;Keisuke IORI and Miyu OZAKI
  • 通讯作者：
    Keisuke IORI and Miyu OZAKI
論文データベース
论文数据库
  • DOI：
  • 发表时间：
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
Evaluation of Straightness of Two-Axes Stage
两轴工作台直线度评估
  • DOI：
    10.4028/www.scientific.net/kem.625.47
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    Key Engineering Materials
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Keisuke IORI;Miyu OZAKI;Ryoshu FURUTANI
  • 通讯作者：
    Ryoshu FURUTANI
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