Development of a novel space X-ray telescope based on micromachining technologies

基于微加工技术的新型空间X射线望远镜的研制

基本信息

批准号：
23684009
负责人：
EZOE Yuichiro
金额：
$ 11.9万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
起止时间：
2011-04-01 至 2014-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

High sensitivity space X-ray observations need a large-aperture X-ray telescope. We invented and have been developing a novel space X-ray telescope based on micro machining technologies. Our method utilizes side walls of micropores made in a thin wafer for X-ray mirrors. A typical wafer thickness is hundreds micro meters, while the width of the micropore is tens micro meters. We verified X-ray reflection and imaging with this method for the first time in the world. In this research, we have succeeded to improve resolution and reflectivity with single-stage sample optics and to fabricate a 2-stage X-ray telescope. We also have verified a new process to coat the micropores with heavy metal and fabricated a 12-inch optic, which is to our knowledge the largest micropore optics ever fabricated. Furthermore, we have studied and proposed an X-ray imaging spectrometer using this telescope for future space missions.

高灵敏度空间X射线观测需要大量X射线望远镜。我们发明并一直在开发基于微加工技术的新型空间X射线望远镜。我们的方法利用了用细晶片制成的微孔的侧壁，用于X射线镜。典型的晶圆厚度为数百微米，而微孔的宽度为数十个微米。我们在世界上首次使用这种方法验证了X射线反射和成像。在这项研究中，我们成功地通过单阶段样品光学器件来提高分辨率和反射率，并制造了2阶段的X射线望远镜。我们还验证了一个新的过程，可以用重金属覆盖微孔并制造了12英寸的光学元件，据我们所知，这是有史以来最大的微孔光学元件。此外，我们使用此望远镜进行了未来的空间任务，研究并提出了X射线成像光谱仪。

项目成果

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专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics for space astronomy

用于空间天文学的新型超轻量高分辨率 MEMS X 射线光学器件

DOI：
10.1016/j.sna.2012.02.042
发表时间：
2012
期刊：
Sensors and Actuators
影响因子：
0
作者：
Ikuyuki Mitsuishi;Yuichiro Ezoe;Kensuke Ishizu;Teppei Moriyama;Makoto Mita;Noriko Y.Yamasaki;Kazuhisa Mitsuda;Yoshiaki Kanamori;Kohei Morishita;Kazuo Nakajima
通讯作者：
Kazuo Nakajima

X-ray reflectivity measurement of a iridium coated MEMS optic with atomic layer deposition

使用原子层沉积对镀铱 MEMS 光学器件进行 X 射线反射率测量

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
K.Takahashi;S.Mima;S.Oguri;C.Otani;O.Tajima;H.Watanabe;M.Yoshida;T. Kakiuchi et al.,;吉田鉄平;S. Umehara;山口祐史郎;T. Ogawa et al.,
通讯作者：
T. Ogawa et al.,

MEMS技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発と現状

采用MEMS技术的超轻量、高角分辨率X射线光学系统的发展及现状