Development of an optical profiling sensor suppressing outliers and able to deal with inclinations

开发抑制异常值并能够处理倾斜的光学轮廓传感器

• 批准号: 18560120
• 负责人: FUKATSU Hiroya
• 金额: $ 2.6万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan College of Industrial Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560120/
• 关键词: 非接触表面性状測定; 光触針; スペックルノイズ; 楕円スポット; 表面性状測定; 半導体レーザ; 小穴計測; 共焦点方式; 輪郭形状測定; 非接触式; スペックル; 輪郭形状

(1)照射スポット形状を円形から楕円形に変換した共焦点式光触針式センサの光学系を構築し、楕円照射スポットがスペックルノイズ低減-異常値の抑制に大きな効果を持つことを実証した。(2)楕円形スポット-共焦点式光触針式センサの実用化を目指し、センサの小型化を行った(外形寸法は95mm×75mm×52mm)

(1) 我们构建了一个用于共焦光学触针传感器的光学系统，其中照射光斑形状从圆形变为椭圆形，并证明椭圆形照射光斑在减少散斑噪声和抑制异常值方面非常有效。 (2) 椭圆光斑 - 为了将共焦光学触针传感器投入实际使用，传感器被小型化（外部尺寸为 95 mm x 75 mm x 52 mm）。

项目成果

楕円スポットを用いた共焦点式輪郭形状センサの開発

椭圆光斑共焦轮廓传感器的研制

• 发表时间: 2006
• 作者: 深津拡也; 柳 和久
• 通讯作者: 柳 和久

Development of a confocal probe with elliptical spot

椭圆光斑共焦探头的研制

• 发表时间: 2008
• 作者: Hiroya FUKATSU;Kazuhisa Yanagi
• 通讯作者: Kazuhisa Yanagi

距離測定装置および距離測定法

距离测量装置和距离测量方法

• 发表时间: 2006

現場で役立つ モノづくりのための精密測定

现场有用的精确制造测量

• 发表时间: 2008
• 作者: 深津拡也

Development of a Internal Profile Measurement Sensor for Small-diameter holes

小直径孔内轮廓测量传感器的开发

• 发表时间: 2008
• 作者: Hiroya FUKATSU