Fabrication of ZnO films with a composition and polarity modulated structure

具有成分和极性调制结构的 ZnO 薄膜的制备

• 批准号: 23656035
• 负责人: ADACHI Yutaka
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: National Institute for Materials Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656035/
• 关键词: 酸化亜鉛; PLD; 透明導電膜; ドーピング; 極性; 変調構造; フォトルミネッセンス; 極性制御; 不純物添加; 分極反転デバイス; 光電子分光法

In this study, composition modulated (Al,Mg,Zn)O films with a periodically polarity-inverted structure were prepared using pulsed laser deposition. The mobility of the films was about 1.5 times larger than that of (Al,Mg,Zn)O films having no composition modulation or periodic polarity inversion. It was demonstrated that photoluminescence measurements can be applied to polarity determination of a ZnO film.

在这项研究中，采用脉冲激光沉积制备了具有周期性极性反转结构的成分调制（Al，Mg，Zn）O 薄膜。该薄膜的迁移率比没有成分调制或周期性极性反转的(Al,Mg,Zn)O薄膜的迁移率大约1.5倍。结果表明，光致发光测量可应用于 ZnO 薄膜的极性测定。

项目成果

不純物添加ＺｎＯ薄膜の構造特性

掺杂ZnO薄膜的结构特征

• 发表时间: 2013
• 作者: 安達 裕;坂口 勲;大橋直樹;羽田 肇
• 通讯作者: 羽田 肇

Structural and Electrical Properties of a-axis Oriented ZnO and (Mg,Zn)O Films on (1-102) Sapphire Substrates

(1-102) 蓝宝石衬底上 a 轴取向 ZnO 和 (Mg,Zn)O 薄膜的结构和电学性能

• 发表时间: 2012
• 作者: Yutaka Adachi;Naoki Ohashi;Isao Sakaguchi;Hajime Haneda
• 通讯作者: Hajime Haneda

Alバッファー層を用いたZnO単結晶基板上の無添加ZnO薄膜の極性

使用Al缓冲层的ZnO单晶衬底上无添加剂ZnO薄膜的极性

• 发表时间: 2013
• 作者: 安達 裕;坂口 勲;大橋直樹;羽田 肇
• 通讯作者: 羽田 肇

Polarity of impurity doped ZnO films

掺杂ZnO薄膜的极性

• 发表时间: 2013
• 作者: Yutaka Adachi;Isao Sakaguchi;Naoki Ohashi;Hajime Haneda
• 通讯作者: Hajime Haneda

Polarity of heavily doped ZnO films

重掺杂ZnO薄膜的极性

• 发表时间: 2013
• 作者: Yutaka Adachi;Isao Sakaguchi;Naoki Ohashi;Hajime Haneda
• 通讯作者: Hajime Haneda