Einfluss einer Magnesium-Koabscheidung auf die Eigenschaften von Magnetron-gesputterten TiN-Schichten

镁共沉积对磁控溅射TiN层性能的影响

• 批准号: 5400559
• 负责人: Dr. Martin Fenker
• 金额: --
• 依托单位: Forschungsinstitut Edelmetalle und Metallchemie (fem)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2004-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5400559?language=en
• 关键词: Einfluss; einer; Magnesium; Koabscheidung; auf

Titannitrid gehört zu den gegenwärtig am besten untersuchten und kommerziell fest etablierten Hartstoffschichten. Das Einsatzgebiet reicht von Werkzeugbeschichtungen, Diffusionsbarrieren in der Halbleitertechnologie bis hin zur dekorativen Beschichtung unterschiedlichster Konsumgüter aufgrund seiner goldenen Farbe. Nachteilig bei den TiN-Schichten ist deren niedrige Oxidationsbeständigkeit. Diese kann aber durch Zulegieren von Elementen (wie z.B. Al) - die stabilere Oxide als die des Titan bilden - erhöht werden. Gleichzeitig nehmen die Legierungselemente Einfluss auf die Farbe des TiN. Durch Variation der Konzentration der Legierungselemente sowie des Stickstoffgehaltes kann Farbe und Oxidationsbeständigkeit von TiN-Schichten gezielt beeinflusst werden. Gerade bei der zuerst genannten Eigenschaft besteht hierbei erhöhter Handlungsbedarf, da derzeit bei PVD-Schichten immer noch intensive Grün-, Rot- und Blau-Farbtöne fehlen. Ziel dieses Forschungsvorhabens ist die systematische Untersuchung der Veränderung der Eigenschaften von TiN durch das Zulegieren von Magnesium während des reaktiven Magnetron-Sputterns. Dabei soll vorrangig der Einfluss des Magnesium-Gehaltes auf die Farbe und das Oxidationsverhalten untersucht werden. Des Weiteren sollen Untersuchungen bzgl. Korrosionsverhalten, Härte, Morphologie, röntgenographischer Struktur und Textur und chemischer Zusammensetzung durchgeführt werden.

titannitridgehörtzu dengegenwärtigam besten untersuchten和kommerziell fest etablierten hartstoffschichten。 -schichten ist deren niedrige氧化beständigkeit。 （Wie Z.B. Al） - 稳定氧化物des des titan bilden。木量氧化剂。