Creation of β diketonate metal complex controlled chemical composition and structure and application to thin film device using it for starting materials

β二酮金属配合物化学组成和结构的构建及其在薄膜器件中的应用

• 批准号: 22360132
• 负责人: HAGA Koichi
• 金额: $ 11.98万
• 依托单位: Sendai National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22360132/
• 关键词: 作成・評価技術; ファイバー状金属錯体原料; 酸化亜鉛; 薄膜トランジスタ; アセチルアセトン亜鉛錯体; ファイバー状アセチルアセトン亜鉛; a軸配向ZnO; CVD; オゾンガス; 透明半導体; 透明トランジスタ; MO-CVD; 結晶配向性制御; ベータージケトン系金属錯体; レーザー直接描画法

The β diketonate metal complex of the fiber shape to control the structure and the chemical composition was created by a novel process without the case in the past, and the metal complex was used for the starting material of metalorganic chemical vapor deposition (MO-CVD). The high quality zinc oxide thin film that was not able to be accomplished by the commercially available metal complex was able to be obtained by using this starting material. Moreover, the laser direct writing method was introduced into the TFT process, and ZnO film transistor (ZnO-TFT) was completed. Crystallographic axis and the crystalline quality in two-dimensional based on the process of ZnO film were able to be obtained and to obtain the controlled a-axis oriented ZnO film. ZnO-TFT was not able to be accomplished in the period of this research using the a-axis oriented ZnO film.

通过前所未有的新工艺制造了控制结构和化学成分的纤维形状的β二酮金属络合物，并将该金属络合物用作金属有机化学气相沉积（MO-CVD）的起始材料通过使用该起始材料，可以获得市售金属络合物无法实现的高质量氧化锌薄膜，并且将激光直写方法引入到TFT工艺中，并制备了ZnO薄膜晶体管。 (ZnO-TFT)的结晶轴和基于ZnO薄膜工艺的二维结晶质量是能够获得的，并且无法获得受控的a轴取向的ZnO-TFT薄膜。在本研究期间使用 a 轴取向 ZnO 薄膜完成了这一工作。

项目成果

組成と構造が制御された金属錯体を用いたZnO薄膜デバイスの作製

使用成分和结构受控的金属配合物制造 ZnO 薄膜器件

• 发表时间: 2013
• 期刊: 平成24年度東北大学金属材料研究所金属ガラス総合研究センター共同利用研究報告書
• 作者: K. Haga;S. Abe;Y. Takizawa;K. Yubuta;and T. Shisido;Koichi Haga;羽賀浩一
• 通讯作者: 羽賀浩一

Organic-Inorganic Conversion Process for MaterialCreation

用于材料创造的有机-无机转化过程

• 发表时间: 2011
• 期刊: J. Surf. Sci. and Nanotech.
• 作者: T. Sishido;K.Yubuta;S.Seki;A.Nomura;A.Yoshikawa;K.Hayashi;K.Haga
• 通讯作者: K.Haga

Organic-Inorganic Conversion Process for Material Creation

用于材料创造的有机-无机转化过程

• 发表时间: 2011
• 期刊: J.Surf.Sci.and Nanotech
• 作者: T.Sisido;K.Yubuta;S.Seki;A.Nomura;A.Yoshikawa;K.Hayashi;K.Haga
• 通讯作者: K.Haga

Preparation of ZnO Thin Films by MO-CVD Using Fibrous Bis (Acetylacetonato) Zinc (II) and Ozone

使用纤维状双乙酰丙酮锌 (II) 和臭氧通过 MO-CVD 制备 ZnO 薄膜

• 发表时间: 2013
• 期刊: J. Physice Conference Series
• 作者: K. Haga;S. Abe;Y. Takizawa;K. Yubuta;and T. Shisido
• 通讯作者: and T. Shisido

ファイバー状Zn(C5H7O2)2・xH2OとO3を原料に用いたMO-CVD法による高抵抗ZnO薄膜の作製

以纤维状Zn(C5H7O2)2·xH2O和O3为原料采用MO-CVD法制备高阻ZnO薄膜

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Haga;M.Sakuma;Y.Takizawa;S.Seki;羽賀浩一,瀧澤義浩,金子義生,湯葢邦夫,宍戸統悦;羽賀浩一;羽賀浩一,阿部修,瀧澤義浩,湯葢邦夫,宍戸統悦
• 通讯作者: 羽賀浩一,阿部修,瀧澤義浩,湯葢邦夫,宍戸統悦