ナノサイズ流体プロセスを用いた金属直立プラズモニック構造作製法の開発

使用纳米流体工艺开发金属直立等离子体结构的制造方法

基本信息

批准号：
21656018
负责人：
中田芳樹
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

超短パルスレーザーを用いてナノサイズの金属流体プロセスを瞬間的に誘起し、金属の直立構造が周期的に配列する構造を形成する。今年度は下記の成果を得た。1.装置の改良:前年度に開発した透過型回折格子と縮小光学系を組み合わせたフェムト秒レーザー干渉加工装置に対し、光束毎に位相・振幅を変調する装置を追加した。2.新規ナノ形状の達成:薄膜材料、膜厚、基板、干渉加工条件などをパラメーターとすることにより、下記の成果を得た。これらにより、(1)～(4)の研究目的を達成し、さらに(5)の新規ナノ形状を創製した(1)曲率半径7.5nmの極小ナノウォータードロップの形成(金)(2)最小頂点曲率半径約2nm(平均値5.4nm)の金ナノウィスカーの形成(3)金ナノウィスカーのアスペクト比:約17(4)最小頂点曲率半径約6nmの銀ナノウィスカーの形成、ナノクラウン周囲のナノスパイク頂点曲率半径:7nm、アスペクト比>5(5)位相・振幅変調による「多重周期構造」「倍密度構造」「周期破線構造」の創製本手法は従来のナノマテリアル形成法に対し、「従来に無いナノ形状」「正確な周期構造の自動生成」「素材の自由度」「加工速度」「大面積一括加工」等の点で優れており、ナノテクノロジーやメタマテリアルなどのナノマテリアル応用分野全般において新しい応用が期待できる。

超短脉冲激光器用于立即诱导纳米大小的金属流体过程，形成一种结构，在该结构中，金属直立结构定期排列。今年，我们取得了以下结果：1。改进设备：到连合传输型衍射光栅和去年开发的透射型衍射光学系统和降低的光学系统的femsecond Laser干扰加工设备，该设备已添加了每种发光的相位和振幅。 2。实现新的纳米形式：通过使用诸如薄膜材料，薄膜厚度，底物和干扰处理条件之类的参数，获得了以下结果。这些结果实现了研究目标（1）至（4），并创建新的纳米形（5）：（1）形成超小的纳米含量的滴剂，半径为7.5 nm的曲率（金）（2）形成金纳米孔，并形成具有最小的顶点曲率半径约2 nm（平均5.4 nm）（3）的金属级别（3）（3）（3）n anan（3）and n an n ant and。 17（4）形成了最小顶点曲率半径约为6 nm的顶点曲率的曲率半径，纳米蛋周围的Nansospike顶点曲率这种方法创建“多孔结构”，“双密度结构”，“双密度结构”，以及“双层周期性结构”，使用radius radius：7nm，AMM AMM，AMM AMP AMM，AM AM AM AM AM AM AM纳米材料形成方法在“非常规的纳米型”，“自动生成准确的周期结构”，“物质自由度”，“加工速度”和“大面积散装加工”方面，预计将是纳米材料应用中的新应用，例如纳米技术的所有领域。