Tube-type micropump by using MEMS technology

采用MEMS技术的管式微型泵

• 批准号: 21760108
• 负责人: KIM Joon-wan
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760108/
• 关键词: マイクロマシン; MEMS; 電界共役流体(ECF); マイクロポンプ; 平面集積化; 機能性流体; 液体マイクロレンズ; 液体マイクロレートジャイロ; 管路形ポンプ

A high power tube-type ECF (Electro-Conjugate Fluid) micropump that consists of triangular prism and slit electrode pairs was proposed and fabricated by MEMS. As advanced ECF micropumps, they were in-plane integrated for high performance by the serialization and parallelization, achieving output power density of the world top class.

提出并采用MEMS制造了一种由三角棱柱和狭缝电极对组成的高功率管式ECF（电共轭流体）微泵。作为先进的ECF微型泵，它们通过串行化和并行化进行平面集成以获得高性能，实现了世界顶级的输出功率密度。

项目成果

Tube-type ECF Pump

管式ECF泵

• 发表时间: 2009
• 作者: Joon-wan Kim;Toshiya Suzuki;Shinichi Yokota;Kazuya Edamura
• 通讯作者: Kazuya Edamura

MEMS技術を用いた管路形ECFマイクロポンプ

采用MEMS技术的管道式ECF微型泵

• 发表时间: 2010
• 作者: グェン ヴィンソンタン;金俊完;横田眞一;枝村一弥
• 通讯作者: 枝村一弥

Tube-type micropump by using electro-conjugated fluid (ECF)

• DOI: 10.1016/j.sna.2011.10.027
• 发表时间: 2012-02-01
• 期刊: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
• 影响因子: 4.6
• 作者: Kim, Joon-wan;Suzuki, Toshiya;Edamura, Kazuya
• 通讯作者: Edamura, Kazuya

New Microactuators Using Functional Fluids(Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, Part III Micro Actuators)

使用功能流体的新型微执行器（引领突破的下一代执行器，第三部分微型执行器）

• 发表时间: 2010
• 作者: Shinichi Yokota;Kazuhiro Yoshida;Kenjiro Takemura;Joon-wan Kim
• 通讯作者: Joon-wan Kim

MEMS技術によるECFマイクロレートジャイロの開発

利用MEMS技术开发ECF微速率陀螺仪

• 发表时间: 2011
• 作者: 今村恒彦;鈴木俊也;金俊完;横田眞一;枝村一弥
• 通讯作者: 枝村一弥