薄膜ライブラリを用いたコンビナトリアル評価法の研究

基于薄膜库的组合评价方法研究

基本信息

批准号：
09J07636
负责人：
青野祐子
金额：
$ 0.9万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では,サーモグラフィを利用し,条件の異なる微小な薄膜サンプルを集積した薄膜ライブラリ上での高効率熱特性評価法の実現を目的としている,具体的な熱特性として,薄膜アモルファス合金の結晶化特性,薄膜形状記憶合金のマルテンサイト変態温度の評価を目指してきた.平成21年度には,薄膜アモルファス合金の結晶化開始温度の高効率評価に成功した.そこで本年度は,薄膜アモルファス合金の時間温度変態曲線の高効率な解明法と,薄膜形状記憶合金のマルテンサイト変態温度評価法の基礎検討について重点的に研究を行った.時間温度変態曲線の高効率な解明法では,温度傾斜真空加熱炉を製作し,他種類の温度条件での保持試験を一括で行う手法を提案した,この加熱炉により,薄膜アモルファス合金サンプルを加熱・保持し,温度の異なる各部での結晶化までに要した時間を測定する.結晶化は,サーモグラフィにより検知する.Pd-Cu-SiおよびNi-Nb-Zr薄膜アモルファス合金で実際に測定を行ったところ,各合金の時間温度変態曲線を1回の加熱・保持試験で得ることに成功した.また,得られた結果から,アーレニウスプロットによる活性化エネルギの算出にも成功した.提案する手法では,従来の示差走査熱量計による測定と比較し,72%の測定時間の削減を達成した.次に,薄膜形状記憶合金については,大面積のTi-Pd-Ni薄膜形状記憶合金のマルテンサイト変態温度および逆変態温度を,サーモグラフィで検知することに成功した.サーモグラフィによる,非接触測定に成功したことで,今後,組成傾斜を有する薄膜ライブラリを利用した,薄膜形状記憶合金の変態温度のコンビナトリアル評価を実現することが期待できる。本研究課題では,上述の成果について,本年度中に投稿論文5編,国際会議での発表2回,国内会議での発表1回を行った.

在这项研究中，使用热量表并旨在在薄膜库上实现高效率的热特性评估方法，该方法与具有不同条件的小型薄膜样品整合在一起，使薄膜的特征结晶旨在评估2009年薄膜形状合金的多形变态，我们成功地评估了薄膜的结晶起始温度，因此今年的时间温度是薄膜的时间温度。薄膜合金的重点是对变质曲线的高效率清晰度的基本研究，以及Marten Sight Sightical温度评估方法的基本研究。温度条件的类型，这种加热的炉会加热并保留薄膜的无定形合金样品，并且在不同温度的每个部分中都需要花费时间。 -NB-ZR薄膜通过热量表检测到的无定形合金，每次合金的时间温度变化曲线。与传统的滞后时间相比可以预期，通过热量表来检测非接触测量的成功，可以使用薄膜形状的组合使用薄膜和组合物，以实现与热量的薄膜相结合，以实现薄膜组合的组合倾角。在本研究问题中，上述结果是今年进行的一次，在国内会议上进行了两个职位，两个在国际会议上的演讲以及一个演讲。