液相レーザープロセスにより調製したナノペーストを利用したマイクロパターン作製

使用液相激光工艺制备的纳米膏制造微图案

• 批准号: 09F09508
• 负责人: 越崎 直人
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-09F09508/
• 关键词: レーザー; アブレーション; パターン形成; ナノインク; ナノペースト; 高濃度分散; ナノ粒子; 溶媒安定性

本研究では、今後ますます重要性が増してくるミクロン以下の精度の室温・大気圧環境下でのリソグラフィーを使わない直接パターン形成技術の開発を目指した研究に取り組んできた。外国人特別研究員が、これまで取り組んできたレーザーマイクロクラッディング法では、従来法と比較して、パターン精度や生成速度でメリットがある。本手法による更なるパターン精度向上には、ペースト中に含まれる原料粒子のサイズが最も重要な要素であり、現状の数μm以下の粒子が入ったペーストのナノサイズ分散粒子化が喫緊の課題であった。そこで、受入研究者のグループで開発してきた液相レーザーアブレーション法(液相中に設置した、固体あるいは粉体ターゲットにレーザー光を照射してナノ粒子を生成させる手法)に取り組み、ナノペーストとして期待される安定化剤フリーの金ナノ粒子などのナノペースト作製に必要となる技術を検討してきた。その結果、Au、Ag、Cu、Ptなどの貴金属やCなどのナノペーストの作製が可能であることはわかってきたが、その過程で、炭素のナノ粒子が蛍光特性を示すことが明らかになってきた。その基本特性を明らかにするとともに、その最適化を図った。また、シリコンのサブミクロンサイズ球状粒子を生成する手法を新規に見いだした。これについては、その応用展開を図るために必要となる、大量合成法についても検討し、実用的な量の作成が可能であることがわかった。

这项研究一直在研究旨在开发直接模式形成技术的研究，该技术在室温和大气压力环境中不使用光刻，在这种情况下，少于微米的重要性在将来变得越来越重要。与传统方法相比，外国特别研究人员一直在研究的激光微片段方法在模式的准确性和发电速度方面具有优势。为了进一步提高这种方法的模式精度，糊状物中包含的原材料颗粒的大小是最重要的因素，并且当前的问题是使糊状分散的纳米尺寸颗粒的颗粒的颗粒颗粒的颗粒或更少。因此，我们一直在研究液相激光消融方法（一种用激光光照射固体或粉末靶的方法来生成纳米颗粒），该方法是由一组受助者研究人员开发的，并且一直在研究生产诸如无稳定剂的金纳米植物（如Nananopastes）的纳米纳米生产所需的技术。结果，已经发现可以制造诸如AU，Ag，Cu和Pt之类的贵金属以及C等纳米含量，但是很明显碳纳米颗粒在此过程中表现出荧光性能。揭示了这一点的基本特征，并进行了优化。我们还发现了一种新方法，用于生成硅的亚微米大小的球形颗粒。在这方面，我们还检查了开发其应用所需的质量合成方法，并发现可以创建实际数量。

项目成果

Preparation of carbon quantum dots with tunable photoluminescence by rapid laser passivation in ordinary organic solvents

• DOI: 10.1039/c0cc03552a
• 发表时间: 2011-01-01
• 期刊: CHEMICAL COMMUNICATIONS
• 影响因子: 4.9
• 作者: Li, Xiangyou;Wang, Hongqiang;Koshizaki, Naoto
• 通讯作者: Koshizaki, Naoto

Sub-micron Hollow Carbon Spheres Fabricated by Laser Irradiation in Liquid without Templates

无模板液体中激光辐照制备亚微米空心碳球

• 发表时间: 2010
• 作者: Xiangyou LI;Hongqiang WANG;越崎直人
• 通讯作者: 越崎直人

球状ナノ粒子の製造方法及び同製造方法によって得られた球状ナノ粒子

球形纳米粒子的制造方法及通过该方法得到的球形纳米粒子

• 发表时间: 2010