Abscheidung von Schichten mit Ionenstrahlzerstäuben auf Innenwände von Hohlkörpern mit hohem Aspektverhältnis

使用离子束溅射在高深宽比空心体的内壁上沉积层

• 批准号: 5382577
• 负责人: Professor Dr. Wolfgang Ensinger
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Materialanalytik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1996-12-31 至 2004-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5382577?language=en
• 关键词: Abscheidung; von; Schichten; mit; Ionenstrahlzerst

Die Abscheidung von Schichten durch physikalische Verfahren, wie z.B. mittels Bedampfen oder Kathodenzerstäuben, ist ein seit langem bekanntes Verfahren. Bei der Beschichtung der Innenwände von Hohlkörpern stößt man jedoch auf die Grenzen dieser Methoden, da der schichtbildende Atomdampf durch die Öffnung des Hohlkörpers in diesen eintreten muß. Bei Körpern, wie z.B. Rohren, mit hohem Aspektverhältnis (Länge des Innenraums zu Durchmesser der Öffnung) ist der zur Verfügung stehende Raumwinkel sehr klein. Dies führt zu inhomogenen Beschichtungen sowie zu Variation der Schichteigenschaften, wenn man beispielsweise an die Struktur denkt, welche vom Einfallswinkel der Atome abhängen kann. Eine Möglichkeit zur Schichtabscheidung bietet sich, wenn die Atomquelle sich nicht außerhalb des Hohlkörpers, sondern innerhalb befindet. Zu diesem Zweck kann ein Zerstäubetarget in den Körper eingebracht werden, von welchem mit Hilfe eines Ionenstrahls, der durch die Öffnung des Hohlkörpers auf das Target fällt, Material auf die Innenwand des Körpers aufgestäubt wird. Die so entstandenen Schichten in Rohren werden in ihrer Zusammensetzung und Struktur sowie auf Eigenschaften wie Härte und Leitfähigkeit untersucht und Korrelationen zu den Prozessparametern hergestellt.

Die Abscheidung von Schichten durch Phyokalische Verfahren，wie z.B. Bedampfen oder Kathodenzerstäuben，ist ein seit langem bekanntes Verfahren。 schichtbildende Atomdampf durch die Öffnung des Hohlkörpers in diesen eintreten muß, wie z.B. Atome abhängen kann。 Hohlkörpers 的 nicht außerhalb、sondern innerhalb befindet。 Körpers aufgestäubt 线。