Design method to control ground vibration and direct vibrations for micro-nano machine tools

微纳机床控制地面振动和直接振动的设计方法

• 批准号: 21560121
• 负责人: MATSUBARA Atsushi
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21560121/
• 关键词: 工作機械; 振動制御; マイクロ・ナノ加工; サーボ系; 除振・制振

Accurate tool motion is required for the micro-nano cutting and grinding machines, and micro-vibration is one of very important issues. Vibrations are categorized in the in-direct disturbance from the ground and direct disturbance from the machine actuators. In this research, the dynamic model of the floor, anti-vibration devices, and the machine is developed. By using this model, the relative vibration between the tool and workpiece is analyzed and anti-vibration design/control method is proposed.

微纳米切割和研磨机需要准确的刀具运动，而微振动是非常重要的问题之一。振动分为地面的内向干扰和机器执行器的直接干扰。在这项研究中，开发了地板的动态模型，反振动设备和机器。通过使用此模型，分析了工具和工件之间的相对振动，并提出了反振动设计/控制方法。

项目成果

剛体マルチボディモデルを用いた高精密加工機の振動評価

使用刚性多体模型评估高精度加工机器的振动

• 发表时间: 2011
• 作者: 河野大輔;松原厚
• 通讯作者: 松原厚

Analysis method for investigating the influence of mechanical components on dynamic mechanical error of machine tools

• DOI: 10.1016/j.precisioneng.2012.02.006
• 发表时间: 2012-07
• 期刊: Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
• 影响因子: 3.6
• 作者: D. Kono;A. Matsubara;Kotaro Nagaoka;K. Yamazaki

パッシブ除振台上に設置した高精密加工機の振動解析

安装在被动隔振台上的高精度加工机械的振动分析

• 发表时间: 2011
• 期刊: 日本機械学会論文集C編
• 作者: 河野大輔;松原厚;岡田琢巳;廣岡孝彦;安田正志
• 通讯作者: 安田正志

工作機械の支持剛性の推定に関する研究

机床支承刚度估算研究

• 发表时间: 2012
• 作者: 河野大輔;稲垣孝洋;松原厚;山路伊和夫
• 通讯作者: 山路伊和夫

接触剛性が工作機械の支持剛性に与える影響に関する研究

接触刚度对机床支撑刚度的影响研究

• 发表时间: 2011
• 作者: 稲垣孝洋;松原厚;河野大輔
• 通讯作者: 河野大輔