Messung des mittleren inneren Potentials von Halbleitern

测量半导体的平均内部电位

• 批准号: 5379201
• 负责人: Professor Dr. Andreas Rosenauer
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Festkörperphysik (IFP)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5379201?language=en
• 关键词: Messung; des; mittleren; inneren; Potentials

Ziel des Projekts ist die elektronenholographische Messung und theoretische Berechnung des mittleren inneren Potentials von Si, Ge und technologisch relevanten III/V- und II/VI-Verbindungshalbleitern. Das MIP ist das innerhalb einer Kristalleinheitszelle gemittelte atomare elektrostatische Potential und enthält Information über Größe und Zusammensetzung der Einheitszelle. In der Transmissionselektronenmikroskopie beeinflußt das MIP die Phase der Elektronenwelle, deren Messung durch holographische Methoden ermöglicht wird. Auf diese Weise liefert die TEM mit dem MIP verknüpfte Objekteigenschaften wie die lokale Zusammensetzung der Probe oder ihre Dicke. Eine genaue Kenntnis des MIP ist eine notwendige Voraussetzung für die quantitative holographische TEM, die zur strukturellen und chemischen Analyse von Halbleiter-Nanostrukturen auf atomarer Skala und zur Messung innerer Felder eingesetzt wird. Derartige Untersuchungen liefern z.B. quantitative Daten über Diffusions- und Segregationsprozesse während des epitaktischen Wachstums von Halbleiternanostrukturen und erlauben die Messung dotierungsabhängiger elektrischer Felder in Bauelementen. Die Kenntnis des MIP besitzt hohe technologische Relevanz und schafft die Grundlage für eine quantitative Charakterisierung von Halbleitern mittels Elektronenholographie.

Ziel des Projekts ist die elektronenholographische Messung und theoretische Berechnung des mittleren insideen Potentials von Si, Ge und technologisch relateden III/V- und II/VI-Verbindungshalbleitern.和 enthält 信息 über Größe 和 Zusammenensetzung der Einheitszelle。 Verknüpfte Objekteigenschaften wie die lokale Zusamensetzung der Probe oder ihre Dicke。 und zur Messung insideer Felder eingesetzt wird Derartige Untersuchungen 定量分析 z.B. MIP 的关键技术是电子全息技术的定量特征分析。