Development of a practical two-mirror objective with sub-100 nm spatial resolution for soft-X-ray microscopy

开发用于软 X 射线显微镜的空间分辨率低于 100 nm 的实用双镜物镜

基本信息

批准号：
20760018
负责人：
TOYODA Mitsunori
金额：
$ 2.83万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至 2009
项目状态：
已结题

项目摘要

A soft-X-ray microscope is expected as a novel tool to observe a high definition image of a living tissue with a spatial resolution better than 100 nm. In this study, we develop novel mirror optics for soft-X-ray microscopy. The optics consisted of two aspherical mirrors with a Mo/Si multilayer coating, which was optimized to have a maximum reflectivity at a wavelength of 13 nm. A wave aberration of the optics was corrected by adjusting the mirror misalignments, and we confirmed a minimum value of 10.6 nm rms.

预期软X射线显微镜是一种新的工具，可以观察具有比100 nm更好的空间分辨率的活组织的高清晰度图像。在这项研究中，我们开发了用于软X射线显微镜的新型镜像。光学元件由两个具有MO/SI多层涂层的非球形镜组成，该镜子被优化为在13 nm的波长下具有最大反射率。通过调整镜像未对准来纠正光学的波像差，我们确认最小值为10.6 nm rms。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

EUV-FEL光と運動量イメージングを用いたクラスター解離ダイナミクスの研究:光強度依存性

使用 EUV-FEL 光和动量成像研究簇解离动力学：光强度依赖性

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
0
作者：
永谷清信;岩山洋士;八尾誠;福澤宏宣;X. -J. Liu;G. Pruemper;奥西みさき;嶋田浩三;上田潔;原田哲男;豊田光紀;柳原美広;山本正樹;本村浩治;齋藤則生;A. Rudenko;J. Ullrich;L. Foucar;A. Czasch;R. Doerner;永園充;東谷篤志;矢橋牧名;石川哲也;大橋治彦;木村洋昭
通讯作者：
木村洋昭

Multiple ionization of rare gas clusters using the EUV-FEL at SPring-8

在 SPring-8 上使用 EUV-FEL 对稀有气体团簇进行多重电离

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
G. Pruemper;H. Fukuzawa;X.J. Liu;M. Okunishi;K. Shimada;K. Ueda,T. Harada;M. Toyoda;M. Yanagihara;M. Yamamoto;N. Saito;K. Motomura;H. Iwayama;K. Nagaya;M. Yao;A. Rudenko;J. Ullrich;L. Foucar;A. Czasch;R. Doerner;M. Nagasono;A. Higashiy
通讯作者：
A. Higashiy

Frustration of direct photoionization of Ar clusters in intense extreme ultraviolet pulses from a free electron laser

DOI：
10.1088/0953-4075/42/13/134019
发表时间：
2009-07-14
期刊：
JOURNAL OF PHYSICS B-ATOMIC MOLECULAR AND OPTICAL PHYSICS
影响因子：
1.6
作者：
Iwayama, H.;Nagaya, K.;Kimura, H.
通讯作者：
Kimura, H.

Exact Period Thickness Control of Soft X-ray Multilayers on Curved Substrates

弯曲基底上软X射线多层膜的精确周期厚度控制

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
T. Harada;T. Jinno;M. Toyoda;T. Hatano;M. Yamamoto
通讯作者：
M. Yamamoto

EUV-FEL利用実験に用いる多粒子同期計測システムの開発と評価

EUV-FEL利用实验中多粒子同步测量系统的开发与评估

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
0
作者：
本村浩治;齋藤則生;福澤宏宣;Liu XiaoJing;Pruemper Georg;奥西みさき;嶋田浩三;上田潔;原田哲男;豊田光紀;柳原美広;山本正樹;岩山洋士;永谷清信;八尾誠;Rudenko Artem;Ullrich Joachim;Foucar Lutz;Czasch Achim;Doerner Reinhard;永園充;東谷篤志;矢橋牧名;石川哲也;大橋治彦;木村洋昭
通讯作者：
木村洋昭