Simultaneous generation of both anodic and cathodic ions from magnetically controlled vacuum arc discharge and its application to an ion source

磁控真空电弧放电同时产生阳极和阴极离子及其在离子源中的应用

• 批准号: 20560259
• 负责人: YANAGIDAIRA Takeshi
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Ibaraki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560259/
• 关键词: 真空アーク放電; イオン源; アーク放電; 真空アーク; 小電流アーク; アークプラズマ; パルス電流変調; 半導体パルス電源; 金属イオン; 陽極点; アノードスポット; 薄膜; ドロップレット

Vacuum arcs become unstable with decreasing arc current and are hard to sustain for long periods. In this study, magnets are arranged inside and back side of both electrodes. Under strong magnetic field, anode spot is generated even at low current and is effective for sustaining low current arcs.

通过弧电流减少，真空弧变得不稳定，并且很难长期维持。在这项研究中，磁铁在两个电极的内部和背侧都排列。在强磁场下，即使在低电流下也会生成阳极斑，并且有效地维持低电流弧。