アノード酸化を利用する多元系アルミニウム複合酸化物皮膜の形成

利用阳极氧化形成多元铝复合氧化膜

• 批准号: 11118205
• 负责人: 高橋 英明
• 金额: $ 1.47万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11118205/
• 关键词: アルミニウム; アノード酸化; バリヤー型酸化皮膜; ゾル・ゲル法; 複合酸化物皮膜; 電解コンデンサー

本研究プロジェクトは、ソルゲル法を用いて種々の酸化物をアルミニウム上にコーティングしたのち、これを中性電解質溶液中でアノード酸化することにより、各種の複合酸化物皮膜を形成するとともに、皮膜構造と皮膜の誘電的性質との関係を明らかにすることを目的としている。本年度は、BaTiO_3およびSiO_2皮膜について検討を加え、次の結果を得た。1)BaTiO_3をコーティングしたアルミニウム試料を中性のホウ酸塩溶液中でアノード酸化を行うと、コーティング層と素地金属との界面にアルミナ層が成長する。このプロセスにより生成するアノード酸化皮膜の電気容量は、通常のアノード酸化により得られるバリヤー型アノード酸化皮膜のそれと同程度である。SiO_2皮膜をあらかじめコーティングしておくと、アノード酸化のさい、コーティング層と素地金属との界面にアルミナ層が生成するとともに、Al-Si複合酸化物層が生成する。このプロセスにより生成するアノード酸化皮膜の電気容量は、通常のアノード酸化により得られるバリヤー型アノード酸化皮膜のそれに比べて20%大きい。また、この電気容量の増大は、複合酸化物層が極めて高い電場を指示できるためである。

在该研究项目中，采用溶胶-凝胶法将各种氧化物涂覆在铝上，然后在中性电解质溶液中进行阳极氧化，形成各种复合氧化物膜并改善膜结构的关系。薄膜的介电性能。今年，我们对BaTiO_3和SiO_2薄膜进行了研究，得到了以下结果。 1)当涂有BaTiO_3的铝样品在中性硼酸盐溶液中进行阳极氧化时，在涂层和基体金属之间的界面处生长出氧化铝层。通过该工艺生产的阳极氧化膜的电容与通过普通阳极氧化获得的势垒型阳极氧化膜的电容相当。如果预先镀有SiO_2薄膜，则阳极氧化时镀层与基体金属的界面处会生成氧化铝层和Al-Si复合氧化物层。通过该工艺生产的阳极氧化膜的电容比传统阳极氧化获得的阻挡型阳极氧化膜的电容大20％。电容的增加也是由于复合氧化物层可以引导极高的电场。

项目成果

Keiji Watanabe: "Formation of Al-Z_r composite oxide films on aluminum by sol gel coating and anodizing"J. Electroanal. Chem.. 473. 250-255 (1999)

Keiji Watanabe：“通过溶胶凝胶涂覆和阳极氧化在铝上形成 Al-Z_r 复合氧化物薄膜”J。

渡辺恵司: "ゾル・ゲルコーディングZ_r酸化物に覆れたアルミニウムのアノード酸化"表面技術. 50・4. 359-366 (1999)

Keiji Watanabe：“覆盖有溶胶凝胶涂层 Z_r 氧化物的铝的阳极氧化”表面技术 50・4（1999）。