Wear Mechanism under Sliding in Air for Solid Lubricant Film

固体油膜在空气中滑动的磨损机理

• 批准号: 19360076
• 负责人: MATSUDA Kenji
• 金额: $ 10.23万
• 依托单位: Kyushu Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360076/
• 关键词: トライボロジー; 固体潤滑膜; 二硫化モリブデン; スパッタリング; 潤滑特性; 乾燥空気; 湿度; 転がり軸受; 大気中; 密着力; 摩擦熱

半導体製造用真空ロボットの固体潤滑軸受に使用されている二硫化モリブデンスパッタ膜は真空中のみならず大気中でも優れた潤滑特性が要求される。しかし, 大気中では極端に潤滑特性の低下が生じる。本研究では, 摩擦試験と表面分析などによりこの原因が膜に浸入した水分であることを明らかにした。次に, 膜に水が浸入しにくい膜作製法を提案し, 効果があることを検証した。さらに, この考え方を発展させて膜の構造の適正化で格段の性能向上が図れることを実証した。

半导体制造用真空机器人固体润滑轴承中使用的溅射二硫化钼薄膜，不仅在真空中而且在大气中也要求具有优异的润滑性能。然而，在大气中，润滑性能显着恶化。在这项研究中，我们通过摩擦测试和表面分析发现，造成这种情况的原因是水渗透到薄膜中。接下来，我们提出了一种防止水进入膜的膜制造方法，并验证了其有效性。此外，通过发展这个想法，我们证明可以通过优化膜的结构来显着提高性能。

项目成果

膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(4)-アルゴン分圧の影響-

成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在气氛中的润滑性(4) - 氩分压的影响 -

• 发表时间: 2008
• 作者: 池田満昭;小熊清典;兼田〓宏;松田健次
• 通讯作者: 松田健次

Effect of Substrate and Friction on Vickers Indentation of Electroplated Coatings

基材和摩擦力对电镀层维氏压痕的影响

• 发表时间: 2008
• 期刊: J. Phys. D: Appl. Phys Vol.41, No.7
• 作者: Kenji Matsuda

膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(3)-潤滑特性向上メカニズムの検討-

成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在气氛中的润滑性(3) - 润滑性改善机理的探讨 -

• 发表时间: 2008
• 作者: 池田満昭;小熊清典;兼田〓宏;松田健次
• 通讯作者: 松田健次

SUS440C製ローラ上に形成した二硫化モリブデンスパッタ膜の摩擦寿命に及ぼす大気中保管の影響

空气中储存对SUS440C辊上二硫化钼溅射薄膜摩擦寿命的影响

• 发表时间: 2007
• 作者: 小熊 清典;池田 満昭;松田 健次;兼田 〓宏
• 通讯作者: 兼田 〓宏

膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(2)-湿度と大気中保管の影響-

成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在大气中的润滑性(2) - 湿度和大气中保存的影响 -

• 发表时间: 2007
• 作者: 池田満昭;大林賢悟;小熊清典;松田健次;兼田〓宏
• 通讯作者: 兼田〓宏