マイクロ-ナノインプリント紛体成形法の開発

微纳米压印粉末成型方法的开发

基本信息

批准号：
18760097
负责人：
津守不二夫
金额：
$ 2.3万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

今年度の成果は主に以下の2点である.(1)ナノインプリントを利用した微細鋳型の作製と樹脂中への粒子材料の分散(2)柱状構造をアレイ状に配置した弾性樹脂内部に磁性粒子を分散させた構造を用いての,マイクロ可動構造の作製前者は,インプリント技術を応用した微粒子材料を樹脂構造内に含める技術の開発である.当初の予定では,粉末微粒子を分散させた樹脂を直接利用し,モールドを利用した転写パターンを得ることを考えていたが.成形中に欠陥が生じた場合モールド凹部に残った部位の除去が困難であった.そのため,シリコンモールドを利用し,PMMAで犠牲型を作製,その後この犠牲型に粉末を分散させた樹脂を鋳込むことで構造を得ることができた.後者は機能性構造体作製の例である.粘性樹脂中に磁性粒子を分散させた材料を微細パターンに転写する.樹脂を硬化し型から取り出すことにより磁場により動的にパターンを変化させる機能性微細構造を作製することができた.粒子の充填には磁場や遠心分離機を利用することにより樹脂中で特徴的な配置を行うことが可能であった.また,このデバイスの挙動解析システムを作成した.ナノインプリントによる微細化でシングルマイクロスケールの作製に関する研究を行った.今後,ナノレベルでの構造に発展させる計画である.

今年的成果主要包括以下两点：（1）利用纳米压印和将颗粒材料分散到树脂中来制造微型模具（2）具有排列成阵列的柱状结构的弹性树脂内部的磁性。 -使用其中分散有颗粒的结构的可移动结构。最初的计划是使用分散有细粉末颗粒的树脂，通过模具直接获得转印图案，但如果成型过程中出现缺陷，则很难去除剩余部分，因此需要牺牲。使用有机硅模具由 PMMA 制成模具，然后将其移除。该结构是通过铸造粉末分散在牺牲模具中的树脂而获得的。后者是创建功能结构的一个示例。通过固化树脂，将磁性颗粒分散在粘性树脂中的材料形成精细图案。将其从模具中取出后，我们能够创建一种功能性微结构，其图案可通过磁场动态变化。通过使用磁场和离心分离器来填充颗粒，可以在树脂中创建特征排列。我们还为该设备创建了行为分析系统。我们对规模制造进行了研究。在未来，我们计划。开发纳米级结构。