Surface Forces between Multi-layers in Nano-scale and Application to MEMS/NEMS

纳米级多层之间的表面力及其在 MEMS/NEMS 中的应用

• 批准号: 18360078
• 负责人: MATSUOKA Hiroshige
• 金额: $ 9.39万
• 依托单位: Tottori University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360078/
• 关键词: ナノ複合膜; 表面・界面物性; ナノマシン; 機械要素; 超精密計測; ヘッド・ディスク・インターフェース; 原子間力顕微鏡; ナノトライボロジー; トライボロジー

複数の任意の物質で構成されるナノ複合膜間の表面間相互作用の特性解明とその応用を目指し、理論的取扱い手法, 計測手法を開発するとともに、実際の微小機械、具体的には、磁気ディスクのヘッド・ディスク・インターフェース(HDI)および原子間力顕微鏡(AFM)のカンチレバー振動の特性解析に応用し、それらの挙動に与える影響を明らかにした。

The aim was to clarify the properties of surface-to-surface interactions between nanocomposite films made up of a plurality of arbitrary materials and to apply them, and to develop theoretical handling and measurement methods, and to analyze the characteristics of cantilever vibrations of actual micromachines, specifically magnetic disk head disk interfaces (HDI) and atomic force microscopes (AFM), and to clarify their effects on their behavior.

项目成果

ASME Information Storage and ProcessingSystems (ISPS) Division, Best Tribology and Head-Disk Interface Track Paper Award (米国機械学会 情報ストレージ・処理システム部門セッション優秀論文賞)受賞者 : 松岡広成、小野克典、福井茂壽受賞日 : 2008年6月16日受賞論文 : A New Evaluation Method ofSurface Energy of Ultra-thin F

ASME 信息存储和处理系统 (ISPS) 部门，最佳摩擦学和头盘接口跟踪论文奖（美国机械工程师学会信息存储和处理系统部门，最佳会议论文奖）获奖者：Hironari Matsuoka、Katsunori Ono、Shigehisa Fukui获奖日期：2008年6月16日 获奖论文：A New Evaluation Method of Surface Energy of Ultra-thin F

AFMによる表面間力測定(フォースカーブの湿度による変化)

使用 AFM 测量表面力（力曲线因湿度而变化）

• 发表时间: 2006
• 期刊: 日本機械学会2006年度年次大会講演論文集 Vol.5
• 作者: 森田峻介;稲田一樹;松岡広成;福井茂寿
• 通讯作者: 福井茂寿

ステアリン酸LB膜の表面エネルギー計測(累積数の影響)

硬脂酸LB膜的表面能测量（累积数的影响）

• 发表时间: 2007
• 期刊: 日本機械学会中国四国学生第37回学生員卒業研究発表研究会講演前刷集
• 作者: 小野克典;稲田一樹;松岡広成;福井茂寿
• 通讯作者: 福井茂寿

A new contact model for head disk interface (HDI)with ultra-thin liquid film and ultra-small spacing

一种新型超薄液膜、超小间距磁头磁盘接口（HDI）接触模型

• 发表时间: 2008
• 作者: 西岡卓哉;福重真一;梅田靖;近藤伸亮;蔵川圭;高田祥三;H. Matsuoka
• 通讯作者: H. Matsuoka

光てこAFMのダイナミック計測における振動振幅の補正手法の研究(先端に付加された質量・ばね・ダンピングの影響)

光杆AFM动态测量中振幅修正方法研究（质量、弹簧、尖端附加阻尼的影响）

• 发表时间: 2007
• 期刊: 日本機械学会IIP2007情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 No.07-7
• 作者: 須山恵明;松岡広成;福井茂寿
• 通讯作者: 福井茂寿