プローブ型データ記録装置への応用を目指す超高性能MEMS静電インチワームモータ

超高性能MEMS静电尺蠖电机旨在应用于探针型数据记录设备

基本信息

批准号：
18810010
负责人：
SARAJLIC Edin
金额：
$ 1.78万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

このプロジェクトの目的は、データ記憶装置のための高性能な静電ステッピング・モータを開発することである。これらの装置には、「データ保存のための探針位置決め」と「ハードディスクドライブのトラッキング機構」も含まれる。私たちはマイクロ静電機械を用いて12bitのデジタル、アナログ変換機(12-bit MEMDAC)を製作しテストした。[J1,C1]。そして直線[C4]もしくは回転[C5]運動をする、静電3相ステッピング・モータを試作した。これらのモータにより、データ保存容量と記憶装置の性能向上が期待できる。従来のモータと比較して、このマイクロモータには以下の利点がある。(1)Open-loopで操作が可能、(2)電圧のインプットノイズに影響されない、(3)出力変位が再現可能な点である。マイクロモータを現実的に作製できるかどうかは、その微細加工が可能かどうかに強く依存している。そのために私たちは新しい作製手法を開発し、実行した[J2,J3,C2,C3,C4]。これらの開発した方法と、垂直溝による分離[C4]、HAREM [J3,C2]により、マイクロモータの駆動部と固定部の作動部品同士を、適切に絶縁ができるようになった。洗練されたこの電気的絶縁法は、全く新しい種類のマイクロシステムを可能にすると同時に、設計を容易にし、現存するモータの性能をさらに向上させることができる。

该项目的目的是为数据存储设备开发高性能的静电垫脚电机。这些设备包括“在数据存储的探针中定位”和“硬盘驱动器跟踪机构”。我们使用微型静电机来创建和测试12位数字和模拟转换机（12位MEMDAC）。 [J1，C1]。然后，将直线[C4]或旋转[C5]练习进行了原型，将3阶段的步进电动机进行原型。可以预期这些电动机可以提高数据存储和存储设备的性能。与常规电动机相比，该微型电机具有以下优点：（1）使用开环是可能的，（2）不受电压输入噪声的影响，（3）可以再现输出位移。是否可以实际制作微电动机在很大程度上取决于是否可能进行精细处理。因此，我们开发并执行了一种新的生产方法[J2，J3，C2，C3，C4]。开发的方法以及由于垂直凹槽[C4]和后宫[J3，C2]引起的分离，使它们能够在微型电机的驱动部分和固定部分的操作部分之间适当隔离。这种复杂的电绝缘方法使一种全新的微型系统可以使设计变得更加容易，并进一步提高了现有电动机的性能。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement

机械位移数模转换柔顺机构设计与建模

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2(3)
影响因子：
0
作者：
Edin Sarajlic;Dominique Collard;Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita
通讯作者：
Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita

2007 Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement

2007 机械位移数模转换柔顺机构设计与建模

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2007 (IEEJ Trans 2007) 2
影响因子：
0
作者：
Edin Sarajlic;Dominique Collard;Hiroshi Toshiyoshi;Hiroyuki Fujita
通讯作者：
Hiroyuki Fujita

Electrostatic 3-phase rotary stepper motor for hard-disk drives

用于硬盘驱动器的静电三相旋转步进电机