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オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明
阐明臭氧气体对硅及硅基陶瓷的氧化机理
基本信息
- 批准号：10650701
- 负责人：
- 金额：$ 1.98万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：1998
- 资助国家：日本
- 起止时间：1998 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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- 影响因子：0
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- 影响因子：0
- 作者：
Yuichi Saito;Fumio Sugaya;Shintaro Inoue;Pongsathorn Raksincharoensak;Hideo Inoue,;成島 尚之;東北大学大学院経済学研究科地域産業復興調査研究プロジェクト編 - 通讯作者：
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- 影响因子：0
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