High frequency (Radio frequency) hollow cathode discharge matrixes at atmospheric pressure for surface deposition, modification and cleaning

大气压下的高频（射频）空心阴极放电矩阵，用于表面沉积、改性和清洁

• 批准号: 5266496
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Polymertechnologie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5266496?language=en
• 关键词: frequency; Radio; hollow; cathode; discharge

Hochfrequenzangeregte Hohlkathodenplasma-Matrizen bei atmosphärischem Druck sollen für Anwendungen in der Oberflächenbeschichtung und -modifikation in den Grundlagen untersucht, charakterisiert und in Anwendungen getestet werden. Es ist geplant, die Plasmaquellen ausgehend von den bereits existierenden, bei einem Druck im mbar-Bereich arbeitenden Multijet-Plasmaquellen zu entwickeln. Als Trägergase sollen Helium sowie verschiedene reaktive Gase verwendet werden. Für die Modellierung dieser Plasmaquellen werden strömungsmechanische Berechnungen verknüpft mit einem elektrischen Ersatzschaltbild eingesetzt. Es ist vorgesehen, die Eigenschaften der erzeugten Plasmen insbesondere durch orts- und zeitaufgelöste optische Emissionsspektroskopie zu charakterisieren. Damit sollen Matrixgeometrie, Gasflüsse und Leistungseinkopplung optimiert werden. Weiterhin ist geplant, die Eignung zur Reinigung bzw. Modifikation von Oberflächen exemplarisch zu untersuchen im Hinblick auf z.B. Abscheideverhalten und Wärmebelastung.

Hochfrequenzangeregte Hohlkathodenplasma-Matrizen bei atmosphärischem Druck sollen for Anwendungen in der Oberflächenbeschichtung und -den Grundlagen undersucht, charakterisiert and in Anwendungen getestet werden.存在的，bei einem Druck im mbar-Bereich arbeitenden Multijet-Plasmaquellen zu entwickeln。 mit einem elektrischen Ersatzschaltbild eingesetzt。 Leistungseinkopplung optimiert werden。Weiterhin ist geplant，die Eignung zur Reinigung bzw。