薄膜凝縮過程の熱的制御に関する研究

薄膜冷凝过程热控制研究

• 批准号: 05750196
• 负责人: 井上 剛良
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750196/
• 关键词: 真空蒸着; 薄膜; レーザー; 結晶構造; 光照射; 銀

伝熱光学の分野では,光はふく射というエネルギーの伝達手段として重要な役割を果してきているが,最近のレーザー技術の発展によってエネルギー伝達の制御手段としての利用も考えられるようになってきている。そこで本研究では光を用いて凝縮という物理現象を制御することが可能であるかどうか,また可能であるならばどのような照射方法が有効であるのかを実験的に調べることを目的として,NaCl単結晶上へのAgの真空蒸着実験において,凝縮する金属原子・金属クラスターにのみYAGレーザーを照射し,これらのエネルギー状態を制御することにより凝縮過程および形成される薄膜結晶構造を制御することを試みた。YAGレーザーはNaCl単結晶基板のおよそ16mm前方でAgビームと直交するように設定されている。その結果以下の結論を得た。1.凝縮する金属原子・金属クラスターにYAGレーザーを照射することにより薄膜の結晶構造を変化させることは可能である。これにより凝縮過程を光で制御することが可能であることがわかった。2.基板温度が400℃の場合,5Hz,3.3J/PulseのYAGレーザーを照射してもエピタキシャル膜が得られなかった。基板温度を410℃にした場合はYAGレーザーを照射しなくてもエピタキシャル膜が得られた。この実験結果よりYAGレーザー照射が有効な基板温度範囲は10〜20℃程度であるといえる。

在传热光学领域，Light作为能量转移手段（例如辐射）发挥了重要作用，但是随着激光技术的最新发展，将其视为能量传递的控制手段变得有可能。因此，在这项研究中，为了实验研究是否可以使用光控制凝结的物理现象，并且在真空沉积实验中，在NACL单晶体上，我们试图控制凝结过程和薄膜晶体，而凝聚器和金属的凝聚器和金属的凝聚器和金属的凝聚器和金属的凝聚器，我们试图控制Ag对NaCl单晶的真空沉积实验，在NACL单晶体上有效。 YAG激光与NaCl单晶基板前约16毫米的Ag梁正交。结果是以下结论：1。可以通过用YAG激光照射冷凝金属原子和金属簇来改变薄膜的晶体结构。已经发现，冷凝过程可以通过光控制。 2。当底物温度为400°C时，即使用5Hz的YAG激光和3.3J/脉冲照射，也无法获得外延膜。当将底物温度设置为410°C时，在没有YAG激光器的情况下获得了外延膜。根据该实验的结果，可以说，YAG激光照射有效的底物温度范围约为10-20°C。

项目成果

Takayoshi Inoue & Hiroyuki Ozoe: "Crystalline Structures of Thin Films under the Thermal Energy Control" Themal Science and Engineering. 2. 179-184 (1994)

井上隆义