NSERC/Teledyne DALSA Industrial Research Chair in Next Generation MEMS and Microphotonics
NSERC/Teledyne DALSA 下一代 MEMS 和微光子学工业研究主席
基本信息
- 批准号：548601-2018
- 负责人：
- 金额：$ 14.25万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Industrial Research Chairs
- 财政年份：2022
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2022-01-01 至 2023-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Imagers; MEMS; Microfabrication; Microsystem integration; Photonics; Sensors; Thin film materials
成像仪；微机电系统；微细加工；微系统集成；光子学；传感器；薄膜材料
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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