Entwicklung eines Meßsystems für dreidimensional ortsaufgelöste, kohärente Spektroskopie und Zeitbereichsanalysen im Terahertz-Frequenzbereich zur bildgebenden Durchleuchtung und Tomographie

开发用于荧光镜成像和断层扫描的太赫兹频率范围内的三维空间分辨相干光谱和时域分析测量系统

• 批准号: 5132512
• 负责人: Professor Dr. Heinrich Kurz (†)
• 金额: --
• 依托单位: AMO GmbH - Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1997-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5132512?language=en
• 关键词: Entwicklung; eines; Me; systems; dreidimensional; Entwicklung; eines; Me; systems; dreidimensional

Gegenstand dieses Fortsetzungsantrages ist die Entwicklung eines zeit- und ortsaufgelösten Analysesystems im TerahertzFrequenzbereich, welches mittels kohärenter Messtechnik die breitbandigen Transmissions- (THz-Durchleuchtung) und Reflexionseigenschaften (THzTomographie) einer Probe erfasst. Neben der Weiterentwicklung des Systems, ist ein essentieller Schwerpunkt des Projektes die breitere Erschließung von Anwendungsgebieten die das Potential der Messtechnik demonstrieren: Im Bereich der Halbleitertechnik sollen statische und dynamische Ladungsträgerdichten und -beweglichkeiten ortsaufgelöst detektiert werden (Wafermapping). Damit soll die Möglichkeit zur in situ Charakterisierung von Herstellungsprozessen für Halbleiter- und Supraleiterbauelemente demonstriert werden. Zusätzliche Einsatzmöglichkeiten in der Medizin (dermatologische Diagnostik) und Qualitätskontrolle (Beschichtungsanalysen), sowie zur Charakterisierung neuartiger Halbleiter Quantenpunkte (Nanodots) sollen weiter ausgearbeitet und evaluiert werden. Für das gesamte Messsystem müssen Algorithmen der digitalen Bildverarbeitung zur Datenanalyse, Rauschfilterung und Visualisierung weiterentwickelt und optimiert werden.

我们第一次通过的是我们第一次通过，但是我们很高兴地宣布我们正在努力理解情况。我们致力于基于Terahertzfrequencyzbereich的分析系统的发展，我们很高兴介绍Messtechnik Die Bireitbandigen Transmissions-（Thz-Durchleuchtung）以供反射式Seegenschaften（Thztomography）Einer pibeer Erfast。 We are committed to the development of the Systems, and we are committed to the projektes die bireitere Erschließung von Anwendungsgebieten die das Potential der Messtechnik demonstrieren: Im Bereich der Halbleitertechnik sollen statische und dynamische Ladungsträgerdichten und -beweglichkeiten ortsaufgelöst detektiert Werden（Wafermapping）。 Damit Soll DieMöglichkeitZur on Aitu Charakterisierung von herstellungsprozessenfürhalbleiter- und supraleiterbauelemente explyiert explyiert werden。 Zusätzliche Einsatzmöglichkeiten in der Medizin (dermatologische Diagnostik) and Qualitätskontrolle (Beschichtungsanalysen), sowie zur Charakterisieurung neuartiger (Halbleiter Quantenpunkte (Nanodots) sollen weiter ausgearbeitet und evaluation werden. Für das GesamteMesssystemMüssen算法Digitalen Bildverarbeitungzur datenanalyse，Rauschfilterung weiter和Optimiert Werden。