Development of low temperature formation for group IV crystalline semiconductor film on insulating substrate by catalytic crystallization method

催化晶化法在绝缘衬底上低温形成IV族晶体半导体薄膜的研究进展

基本信息

  • 批准号:
    26870815
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.5万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 财政年份:
    2014
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2014-04-01 至 2016-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(35)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
面方位制御した結晶Ge薄膜の極低温誘起成長
具有受控面取向的晶态Ge薄膜的低温诱导生长
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    鈴木香寿恵;徳永旭将;平沢尚彦;門崎学;山内恭;野満 建至, 岡本 隼人, 工藤 康平, 坂口 大成, 高倉 健一郎, 角田 功
  • 通讯作者:
    野満 建至, 岡本 隼人, 工藤 康平, 坂口 大成, 高倉 健一郎, 角田 功
Au induced low-temperature formation of perferentially (111)-oriented crystalline Ge on insulator
Au 诱导绝缘体上低温形成择优 (111) 取向的晶体 Ge
  • DOI:
    10.7567/jjap.55.04ej10
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    岡本 隼人, 工藤 康平, 野満 建至, 高倉 健一郎, 角田 功
  • 通讯作者:
    岡本 隼人, 工藤 康平, 野満 建至, 高倉 健一郎, 角田 功
Preferentially (111) Oriented Crystalline Ge by Low Temperature (~200 ℃) Au Induced Solid Phase Crystallization
低温(~200 ℃)Au诱导固相结晶优先(111)取向晶体Ge
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    苗村智行;都築俊介;西山悠;工藤 康平,餅井 亮介,野満 建至,高倉 健一郎,角田 功
  • 通讯作者:
    工藤 康平,餅井 亮介,野満 建至,高倉 健一郎,角田 功
非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼす熱処理温度の影響(2)-Au膜厚依存性-
热处理温度对非晶Ge薄膜Au诱导生长的影响(2)-Au膜厚依赖性-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    鈴木 香寿恵 ;本山 秀明 ;山内 恭;榎本 浩之;田村 岳史;飯塚 芳徳;樋口 知之;工藤 康平, 野満 建至, 餅井 亮介, 岡本 隼人, 高倉 健一郎, 角田 功
  • 通讯作者:
    工藤 康平, 野満 建至, 餅井 亮介, 岡本 隼人, 高倉 健一郎, 角田 功
ゲルマニウム層付き基板の製造方法及びゲルマニウム層付き基板
具有锗层的基板的制造方法及具有锗层的基板
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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