Fabrication of High Dielectric Ultrathin-Film Utilizing Inactivated Si(110) Single Domain Surface and Evaluation of Its Physical Property

钝化Si(110)单畴表面高介电超薄膜的制备及其物性评价

基本信息

  • 批准号:
    26870416
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.5万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 财政年份:
    2014
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2014-04-01 至 2016-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(9)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
水の解離吸着によるSi(110)-16×2清浄面の表面構造と局所価電子状態の変化
水解离吸附导致Si(110)-16×2洁净表面表面结构和局域价电子态的变化
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Quang Ngoc Phan;Takashi Uebansou;Takaaki Shimohata;Mutsumi Nakahashi;Kazuaki Mawatari and Akira Takahashi;原田 新;渡辺崇人,三戸太郎,大内淑代,野地澄晴;垣内拓大,西浦伸吾,川本淳滋,長岡伸一,間瀬一彦
  • 通讯作者:
    垣内拓大,西浦伸吾,川本淳滋,長岡伸一,間瀬一彦
X線光電子分光法、光電子-オージェ電子分光法による水素吸着Si(110)-16x2シングルドメイン表面の研究
X射线光电子能谱和光电子俄歇电子能谱研究氢吸附的Si(110)-16x2单畴表面
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    垣内拓大;中納佑二;長岡伸一;間瀬一彦
  • 通讯作者:
    間瀬一彦
Si(110)-16x2シングルドメイン表面上に作製したHfおよびHfO2超薄膜の界面を選別した局所価電子状態
在 Si(110)-16x2 单畴表面上制造的 Hf 和 HfO2 超薄膜界面处选择的局部价态
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    垣内拓大;池田恭平;長岡伸一;間瀬一彦
  • 通讯作者:
    間瀬一彦
低速電子回折と光電子分光法によるHf蒸着Si(110)-16x2シングルドメイン表面の研究
慢电子衍射和光电子能谱研究 Hf 沉积的 Si(110)-16x2 单畴表面
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    垣内拓大;桂木拓磨;中納佑二;長岡伸一;間瀬一彦
  • 通讯作者:
    間瀬一彦
Si(110)-16x2シングルドメイン表面上に作製したSiO2超薄膜の膜厚に依存した表面局所価電子状態の変化
Si(110)-16x2单畴表面制备的SiO2超薄膜的表面局域价电子态随膜厚的变化
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    垣内拓大;池田恭平;長岡伸一;間瀬一彦
  • 通讯作者:
    間瀬一彦
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Kakiuchi Takuhiro其他文献

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    $ 2.5万
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