Growth of low-reisitivity diamond wafers for ultra low-loss power electronics

用于超低损耗电力电子器件的低电阻率金刚石晶片的生长

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Selective-Area Growth of Single-Crystal Diamond Films by Hot-Filament CVD Using Metal Masks
使用金属掩模通过热丝 CVD 选择性区域生长单晶金刚石薄膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S. Ohmagari;T. Matsumoto;H. Umezawa;and Y. Mokuno
  • 通讯作者:
    and Y. Mokuno
Low Resistivity P+ Single-Crystal Diamond Prepared by Hot-Filament CVD
热丝CVD法制备低电阻率P单晶金刚石
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S. Ohmagari;and Y. Mokuno
  • 通讯作者:
    and Y. Mokuno
熱フィラメントCVD法によるパワーデバイス用ダイヤモンド結晶成長
使用热丝 CVD 方法生长功率器件的金刚石晶体
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    大曲新矢;山田英明;坪内信輝;田中真悟;茶谷原昭義;梅沢仁;杢野由明;S. Ohmagari;大曲新矢;大曲新矢
  • 通讯作者:
    大曲新矢
Boron inhomogeneity of HPHT-grown single-crystal diamond substrates: Confocal micro-Raman mapping investigations
  • DOI:
    10.1016/j.diamond.2015.09.014
  • 发表时间:
    2016-03-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    4.1
  • 作者:
    Srimongkon, Kridsanapan;Ohmagari, Shinya;Shikata, Shin-ichi
  • 通讯作者:
    Shikata, Shin-ichi
ダイヤモンド単結晶ウェーハ開発の現状と課題
金刚石单晶片发展现状及挑战
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    杢野由明;山田英明;茶谷原昭義;大曲新矢
  • 通讯作者:
    大曲新矢
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