正則化を取り入れた電子線タイコグラフィー位相回復法の開発と材料応用
正则化电子束叠印相位恢复方法的开发及材料应用
基本信息
- 批准号:24K15598
- 负责人:
- 金额:$ 2.75万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2024
- 资助国家:日本
- 起止时间:2024-04-01 至 2027-03-31
- 项目状态:未结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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