Microsphere resonator based micro-probe for 3-dimensional coordinate metrology

基于微球谐振器的 3 维坐标计量微型探针

• 批准号: 22860034
• 负责人: MICHIHATA Masaki
• 金额: $ 2.01万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22860034/
• 关键词: 微小球共振; NSOM; マイクロプローブ; 光カップリング; WGM; 微小球共振器; 真球度; テーパファイバ

In order to measure the objective in size below a few millimeters, the nano-coordinate measuring machine(CMM) is highly required. Since the surface sensing probe is a key device for the nano-CMM, we proposed a new probe principle based on the whispering gallery mode(WGM) resonance. For the fundamental experiments, the equipments to generate WGMs with either a prism surface of a tapered optical fiber were developed. Beside, the equipment to evaluate the surface sensing resolution of the WGM probe was developed.

为了测量几毫米以下尺寸的目标，非常需要纳米坐标测量机（CMM）。由于表面传感探头是纳米坐标测量机的关键器件，我们提出了一种基于回音壁模式（WGM）共振的新探头原理。为了进行基础实验，开发了利用锥形光纤的棱镜面产生WGM的设备。此外，还开发了评估WGM探针表面传感分辨率的设备。

项目成果

WGM共振を用いたマイクロ粒子における真球度評価の基礎的研究

利用WGM共振评价微粒球形度的基础研究

• 发表时间: 2011
• 作者: 市川雄一;林照剛;高谷裕浩;道畑正岐
• 通讯作者: 道畑正岐

微小球共振器を用いた位置検出マイクロプローブのための基礎的研究

利用微球谐振器的位置检测微探针的基础研究

• 发表时间: 2011
• 作者: 峨家諒介;林照剛;高谷裕浩;道畑正岐
• 通讯作者: 道畑正岐